Вышедшие номера
Быстрая термическая диффузия цинка в гетероструктуру GaAs/AlxGa 1-xAs /GaAs
Абросимова В.Н.1, Аветисян Л.Ф.1, Вяткин А.Ф.1, Дубровский Ю.В.1, Пустовит А.Н.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 24 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Исследован процесс быстрой термической диффузии Zn в GaAs n- и p-типа и в гетероструктуру GaAs/AlxGa1-xAs/GaAs из тонкопленочных оксидных источников (ZnO)x(SiO2)1-x, сформированных методом центрифугирования из пленкообразующих растворов. Диффузия осуществлялась в среде N2, в диапазоне температур 700-800 oC в течение 6-12 с. Глубина проникновения Zn в гетероструктуры составляла около 500 нм. Механизм диффузии Zn в структуру с гетеробарьером аналогичен механизму диффузии Zn в GaAs. Взаимная диффузия Al и Ga в гетеробарьере в рассмотренном диапазоне температур усилена диффузией Zn в режиме быстрой термической диффузии.
  1. V. Quintana, J.J. Clemencon, A.K. Chin. J. Appl.Phys., \bf 63, 2454 (1988)
  2. P. Gavrilovic, D.G. Deep, K. Meehan et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 47, 130 (1985)
  3. K. Nishiyama, M. Afai, N. Watanabe. Japan. J. Appl. Phys., \bf 20, 124 (1981)
  4. N. Holonyak, W.D. Laidig, M.D. Camras, J.J. Coleman, P.D. Dapkus. Appl. Phys. Lett., \bf 39, 102 (1981)
  5. А.И. Борисенко, В.Н. Коковина, Е.П. Трошина, Л.Ф. Чепик. ДАН СССР, \bf 262, 1409 (1982)
  6. C.Lu Yicheng, T.S. Kalkur, C.A. Paz de Araujo. J. Electron. Mater, \bf 19, 29 (1990)
  7. G. Rajeswaran, D.J. Lawrence, S.-Tong Lee, K.B. Kahen. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc. \bf 144, 551 (1990)
  8. K.B. Kahen. Appl. Phys. Lett., 55, 2117 (1989)
  9. S. Yu, T.Y. Tan, U. Gosele. J. Appl. Phys., \bf 69, 3547 (1991)
  10. A. Usami, Y. Tokuda, H. Shiraki et. al. J. Appl. Phys., \bf 66, 3590 (1989)
  11. E.V.K. Rao, H. Thibierge, F. Brillouet et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 46, 867 (1985)
  12. R.W. Kaliski, P. Gavrilovic, K. Meehan et. al. J. Appl. Phys., \bf 58, 101 (1985)
  13. J.Gibert, P.M. Petroiff, D.J. werder et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 49, 223 (1986)
  14. S. tong Lee, G. Braunstein, P. Fellinger, G. Rajeswaran. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc., \bf 144, 489 (1989)
  15. B. Elman, E.S. Koteles, P. Melman, C.A. Armiento. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc., \bf 144, 445 (1989)
  16. L.G. Guido, N. Holonyak, K.C. Hsieh et. al. J. Appl. Phys., \bf 61, 1372 (1987)
  17. J.D. Ralston, S.O. Brien, G.W. Wicks, L.F. Eastman. Appl. Phys. Lett., \bf 52, 1511 (1988)
  18. W.D. Laidig, N Holonyak, M.D. Camras et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 38, 776 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.