Влияние концентрации углерода на свойства структурной сетки в сплавах a-Si 1-xCx:H
Данишевский А.М.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1, Цолов М.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1994 г.
Колебательные свойства неупорядоченной структурной сетки образцов a- Si1-x Cx:H с различным содержанием углерода, полученных осаждением в высокочастотном тлеющем разряде из смеси SiH4+C2H2+Ar+O2, исследованы методами рамановской спектроскопии и спектроскопии инфракрасного поглощения. Характеризация пленок осуществлялась с помощью оже-спектроскопии и спектроскопии краевого поглощения. Полученные спектральные особенности и их модификация с изменением состава идентифицированы с различными типами колебаний связей атомов, входящих в структурную сетку аморфного материала.
- A. Morimoto, S. Oozora, M. Kumeda, T. Shimizu. Sol. St. Commun., \bf 47, 773 (1983)
- N. Malley, J.S. Lannin. Phys. Rev. B, 36, 1146 (1987)
- G.A.N. Connel. In: \it Amorphous Semiconductors, ed. by M.H. Brodsky (Springer-Verlag, N.Y., 1979) p. 295
- J.S. Lannin. J. Non-Cryst. Sol., \bf 97/98, 39 (1987); Phys. Rev. B, \bf 26, 3506 (1982)
- R. Tsu, J.G. Hernander, F.H. Pollak. J. Non-Cryst. Sol., \bf 66, 109 (1984)
- A. Morimoto, T. Miura, M. Kumeda, T. Shimizu. Japan J. Appl. Phys., \bf 22, 908 (1983)
- R. Alben, D. Weaire, J.E. Smith, M.H. Brodsky. Phys. Rev. B, \bf 11, 2275 (1975)
- U. Buchenau et. al. Europ. Lett., 6, 695 (1988)
- H. Wieder, M. Cardona, C.R. Guarnieri. Phys. St. Sol. (b), \bf 92, 99 (1979)
- M. Gorman, S.A. Solin. Sol. St. Commun., 15, 761 (1974)
- A. Morimoto, T. Kataoka, M. Kumeda, T. Shimizu. Phil. Mag. B, \bf 50, 517 (1984)
- R.R. Koropecki, F. Alvarez, R. Arce. J. Appl. Phys., \bf 69, 7805 (1991)
- E. Sacher. J. Appl. Phys., 71, 4091 (1992)
- R.R. Koropecki, F. Alvarez, R. Arce. J. Appl. Phys., \bf 71, 4092 (1992)
- H.J. Stein, S.H. Huers, D.M. Follstaedt. J. Appl. Phys., \bf 73, 2775 (1993)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.