"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние концентрации углерода на свойства структурной сетки в сплавах a-Si 1-xCx:H
Данишевский А.М.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1, Цолов М.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1994 г.

Колебательные свойства неупорядоченной структурной сетки образцов a- Si1-x Cx:H с различным содержанием углерода, полученных осаждением в высокочастотном тлеющем разряде из смеси SiH4+C2H2+Ar+O2, исследованы методами рамановской спектроскопии и спектроскопии инфракрасного поглощения. Характеризация пленок осуществлялась с помощью оже-спектроскопии и спектроскопии краевого поглощения. Полученные спектральные особенности и их модификация с изменением состава идентифицированы с различными типами колебаний связей атомов, входящих в структурную сетку аморфного материала.
  1. A. Morimoto, S. Oozora, M. Kumeda, T. Shimizu. Sol. St. Commun., \bf 47, 773 (1983)
  2. N. Malley, J.S. Lannin. Phys. Rev. B, 36, 1146 (1987)
  3. G.A.N. Connel. In: \it Amorphous Semiconductors, ed. by M.H. Brodsky (Springer-Verlag, N.Y., 1979) p. 295
  4. J.S. Lannin. J. Non-Cryst. Sol., \bf 97/98, 39 (1987); Phys. Rev. B, \bf 26, 3506 (1982)
  5. R. Tsu, J.G. Hernander, F.H. Pollak. J. Non-Cryst. Sol., \bf 66, 109 (1984)
  6. A. Morimoto, T. Miura, M. Kumeda, T. Shimizu. Japan J. Appl. Phys., \bf 22, 908 (1983)
  7. R. Alben, D. Weaire, J.E. Smith, M.H. Brodsky. Phys. Rev. B, \bf 11, 2275 (1975)
  8. U. Buchenau et. al. Europ. Lett., 6, 695 (1988)
  9. H. Wieder, M. Cardona, C.R. Guarnieri. Phys. St. Sol. (b), \bf 92, 99 (1979)
  10. M. Gorman, S.A. Solin. Sol. St. Commun., 15, 761 (1974)
  11. A. Morimoto, T. Kataoka, M. Kumeda, T. Shimizu. Phil. Mag. B, \bf 50, 517 (1984)
  12. R.R. Koropecki, F. Alvarez, R. Arce. J. Appl. Phys., \bf 69, 7805 (1991)
  13. E. Sacher. J. Appl. Phys., 71, 4091 (1992)
  14. R.R. Koropecki, F. Alvarez, R. Arce. J. Appl. Phys., \bf 71, 4092 (1992)
  15. H.J. Stein, S.H. Huers, D.M. Follstaedt. J. Appl. Phys., \bf 73, 2775 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.