Вышедшие номера
Влияние концентрации углерода на свойства структурной сетки в сплавах a-Si 1-xCx:H
Данишевский А.М.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1, Цолов М.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1994 г.

Колебательные свойства неупорядоченной структурной сетки образцов a- Si1-x Cx:H с различным содержанием углерода, полученных осаждением в высокочастотном тлеющем разряде из смеси SiH4+C2H2+Ar+O2, исследованы методами рамановской спектроскопии и спектроскопии инфракрасного поглощения. Характеризация пленок осуществлялась с помощью оже-спектроскопии и спектроскопии краевого поглощения. Полученные спектральные особенности и их модификация с изменением состава идентифицированы с различными типами колебаний связей атомов, входящих в структурную сетку аморфного материала.