Фоточувствительные поликристаллические пленки компенсированного теллурида свинца PbTe:Cl,Te ex
Захарова И.Б.1, Зубкова Т.И.1, Немов С.А.1, Рабизо О.В.1, Выдрик В.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1994 г.
Исследованы фоточувствительные поликристаллические пленки PbTe, легированные Cl и избытком Te. Пленки были получены вакуумным напылением в модифицированном квазизамкнутом объеме из компенсированной шихты. Состав исходного материала выбран в диапазоне, где концентрация носителей тока лишь незначительно зависит от изменения содержания легирующей примеси и избыточного теллура. В результате получены однородные поликристаллические пленки с концентрацией носителей тока около 3· 1017 см-3, темновым сопротивлением около 106 Ом/#, фоточувствительные в диапазоне 1-6 мкм без высокотемпературного отжига на воздухе. Оптимальная температура отжига не превышает 250-270 oC. При этой температуре отжига барьеры для тока возрастают до максимальной величины =~ 50 мэВ. Такие пленки могут использоваться в качестве чувствительного элемента твердотельных матричных приемников инфракрасного излучения. Получены фоторезистивные матричные инфракрасные приемники на подложке Si-SiO2 с числом элементов 32x32 и размером элемента 50x50 мкм2.
- Л.И. Бытенский, В.И. Кайданов, В.П. Макеенко, Р.Б. Мельник, С.А. Немов. ФТП, \bf 18, 489 (1984)
- Л.И. Бытенский, В.И. Кайданов, Р.Ф. Кутейников, С.А. Немов, Ю.И. Равич. ФТП, \bf 15, 981 (1981)
- Ю.З. Бубнов, М.С. Лурье, Г.А. Филаретов. \it Вакуумное напыление пленок в КЗО (М., 1975)
- H.E. Clemens, E.J. Fantner, G. Bauer. Rev. Sci. Instr., \bf 54, 685 (1983)
- В.И. Ильин. ФТП, 4, 631 (1970)
- Л.С. Палатник, Л.Г. Петренко. Физика и химия обраб. материалов, вып. 4, 142 (1975)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.