"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Фоточувствительные поликристаллические пленки компенсированного теллурида свинца PbTe:Cl,Te ex
Захарова И.Б.1, Зубкова Т.И.1, Немов С.А.1, Рабизо О.В.1, Выдрик В.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный технический университет,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 апреля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1994 г.

Исследованы фоточувствительные поликристаллические пленки PbTe, легированные Cl и избытком Te. Пленки были получены вакуумным напылением в модифицированном квазизамкнутом объеме из компенсированной шихты. Состав исходного материала выбран в диапазоне, где концентрация носителей тока лишь незначительно зависит от изменения содержания легирующей примеси и избыточного теллура. В результате получены однородные поликристаллические пленки с концентрацией носителей тока около 3· 1017 см-3, темновым сопротивлением около 106 Ом/#, фоточувствительные в диапазоне 1--6 мкм без высокотемпературного отжига на воздухе. Оптимальная температура отжига не превышает 250--270 oC. При этой температуре отжига барьеры для тока возрастают до максимальной величины =~ 50 мэВ. Такие пленки могут использоваться в качестве чувствительного элемента твердотельных матричных приемников инфракрасного излучения. Получены фоторезистивные матричные инфракрасные приемники на подложке Si--SiO2 с числом элементов 32x32 и размером элемента 50x50 мкм2.
  1. Л.И. Бытенский, В.И. Кайданов, В.П. Макеенко, Р.Б. Мельник, С.А. Немов. ФТП, \bf 18, 489 (1984)
  2. Л.И. Бытенский, В.И. Кайданов, Р.Ф. Кутейников, С.А. Немов, Ю.И. Равич. ФТП, \bf 15, 981 (1981)
  3. Ю.З. Бубнов, М.С. Лурье, Г.А. Филаретов. \it Вакуумное напыление пленок в КЗО (М., 1975)
  4. H.E. Clemens, E.J. Fantner, G. Bauer. Rev. Sci. Instr., \bf 54, 685 (1983)
  5. В.И. Ильин. ФТП, 4, 631 (1970)
  6. Л.С. Палатник, Л.Г. Петренко. Физика и химия обраб. материалов, вып. 4, 142 (1975)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.