"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Подвижность электронов и плотность состояний в a-C:H
Коньков О.И.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

Проведены исследования электрофизических свойств и дрейфовой подвижности электронов в пленках аморфного гидрированного углерода. Пленки получены методом высокочастотного разложения смесей CH4+Ar/H2 при температурах 25 и 250 oC. Показано, что экспериментальные данные можно удовлетворительно объяснить, если предположить, что распределение плотности состояний в хвосте зоны проводимости имеет гауссову форму со значениями характеристической температуры (1000-1400) K. Оценено значение подвижности электронов, которое составляет более 1 см2/В·с для всех исследованных пленок.
  1. J.C. Angus. \it Diamond and related materials (1991) v. 1, p. 61; F. Demichelis, A. Tagliaferro, D. Dasgupta. \it Proc. I \it st European Conf. on Diamond and Diamond-like Carbon Coatings (Crans-Montana, Switzerland, 1990) p. 218
  2. P.G. Le Comber, A. Madan, W.E. Spear. J. Non-Cryst. Sol., \bf 11, 219 (1972)
  3. T. Tiedje, A. Rose. Sol. St. Commun., \bf 57, 49 (1980)
  4. J.M. Marshall, H. Michiel, G.J. Adriaenssen. Phil. Mag. B, \bf 47, 211 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.