"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Роль полевых эффектов при определении концентрации термодоноров в кремнии методом DLTS
Комаров Б.А.1, Коршунов Ф.П.1, Мурин Л.И.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников Академии наук Беларуси,, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 22 июня 1993 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1994 г.

На примере двухзарядных термодоноров в кремнии рассмотрено влияние неэкспоненциальности релаксационных процессов емкости на точность определения концентрации центров с притягивающим кулоновским потенциалом методом DLTS. Показано, что наличие полевой зависимости скорости термической эмиссии носителей с уровней таких центров (эффект Пула-Френкеля) может приводить к существенному (в 2-4 раза) понижению амплитуды DLTS-сигнала.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.