"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электронная оже-спектроскопия и спектроскопия анизотропного отражения монослойных нитридных пленок на поверхностях (001) кристаллов GaAs и GaSb
Берковиц В.Л.1, Гордеева А.Б.1, Львова Т.В.1, Улин В.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2012 г.

Методами электронной оже-спектроскопии и спектроскопии анизотропного отражения исследовались монослойные пленки нитрида галлия, сформированные на поверхности (001)GaAs путем химической нитридизации в гидразин-сульфидных растворах. Обнаружено, что оже-сигнал азота N KLL в нитридной пленке сдвинут в сторону больших кинетических энергий на ~17.2 эВ по сравнению с аналогичным сигналом для объемного кристалла GaN. Наблюдаемый сдвиг обусловлен спецификой конфигурации валентных орбиталей атомов азота, терминирующих нитридизованную поверхность (001)GaAs. У этих атомов одна из валентных орбиталей не образует химической связи и занята неподеленной парой электронов. Предложенная конфигурация подтверждается результатами анализа спектров анизотропного отражения нитридизованной поверхности (001)GaAs. Впервые выполнены опыты по химической нитридизации поверхности GaSb. Оже-спектры нитридизованной поверхности (001)GaSb оказываются подобны спектрам нитридизованной поверхности (001)GaAs. Это свидетельствует об аналогичном характере химических процессов на этих поверхностях и формировании монослойной нитридной пленки на поверхности GaSb.
  1. Y. Bu, M.C. Lin. Surf Sci., 317, 152 (1994)
  2. V.L. Berkovits, V.P. Ulin, M. Losurdo, P. Capezzuto, G. Bruno, G. Perna, V. Capozzi. Appl. Phys. Lett., 80, 3739 (2002)
  3. V.L. Berkovits, V.P. Ulin, O.E. Tereshchenko, D. Paget, A.C. Rowe, P. Chiaradia, B.P. Doyle, S. Nannarone. J. Electrochem. Soc., 158, D127 (2011)
  4. V.L. Berkovits, D. Paget, A.N. Karpenko, V.P. Ulin, O.E. Tereshchenko. Appl. Phys. Lett., 90, 022 105 (2007)
  5. В.Л. Берковиц, Т.В. Львова, В.П. Улин. ФТП, 45, 1637 (2011)
  6. V.L. Berkovits, L. Masson, I.V. Makarenko, V.P Ulin. Appl. Surf. Sci., 254, 8023 (2008)
  7. P. Weightman, D.S. Martin, R.J. Cole, T. Farrel. Rep. Progr. Phys., 68, 1251 (2005)
  8. В.Л. Берковиц, А.Б. Гордеева, В.А. Кособукин. ФТТ, 43 (6), 985 (2001)
  9. В.Л. Берковиц, В.Н. Бессолов, Т.В. Львова, Е.Б. Новиков, В.И. Сафаров, Р.В. Хасиева, Б.В. Царенков. ФТТ, 25, 1406 (1991)
  10. V.L. Berkovits, A.N. Karpenko, L. Masson, V.P. Ulin. J. de Physique IV (Proceedings), 132, 263 (2006)
  11. R.V. Berghe, R. Vlaemnick. Surf. Interface Anal., 10, 316 (1987)
  12. V.L. Berkovits, A.B. Gordeeva, V.A. Kosobukin. Sol. St. Commun., 119, 657 (2001)
  13. V.L. Berkovits, A.B. Gordeeva, V.A. Kosobukin. Phys. Status Solidi B, 247, 1932 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.