"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Анализ состава твердых растворов (Al,Ga)As методами вторично-ионной масс-спектрометрии и рентгеновской дифрактометрии
Дроздов Ю.Н.1, Дроздов М.Н.1, Данильцев В.М.1, Хрыкин О.И.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 25 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2012 г.

Получены калибровочные линии для послойного анализа концентрации матричных элементов в слоях AlxGa1-xAs на вторично-ионном масс-спектрометре TOF.SIMS-5. Концентрация твердого раствора для набора тестовых образцов была независимо измерена методом рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения с учетом отклонения периода решетки и упругих модулей от закона Вегарда. Показано, что при использовании в методе вторично-ионной масс-спектрометрии распыляющих ионов Cs+ и анализирующего пучка Bi+ близкой к линейной для положительных ионов является зависимость отношения интенсивностей Y(CsAl+)/ Y(CsAs+) от x(AlAs); при регистрации отрицательных ионов близкой к линейной является зависимость Y(Al2As-)/ Y(As-) от x. Эти данные позволяют нормировать профили послойного анализа в системе AlxGa1-xAs/GaAs. Кроме того, предложен простой вариант введения поправок на отклонение от закона Вегарда в рентгеновские данные.
  1. M. Prutton. Introduction to surface physics (Oxford, Clarendon Press, 1994)
  2. Z.M. Hossain, B.F. Jonathan, H.T. Johnson. J. Appl. Phys., 103, 073 508 (2008)
  3. М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, Д.Н. Лобанов, А.В. Новиков, Д.В. Юрасов. Поверхность. РСНИ, N 6, 93 (2011)
  4. М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, Д.Н. Лобанов, А.В. Новиков, Д.В. Юрасов. ФТП, 44 (3), 418 (2010)
  5. Б.К. Вайнштейн, В.М. Фридкин, В.Л. Инденбом. Современная кристаллография. Т.: Структура кристаллов (М., Наука, 1979)
  6. S.T. Murphy, A. Chroneos, C. Jiang, U. Schwingenschlogl, R.W. Grimes. Phys. Rev. B, 82, 073 201 (2010)
  7. S. Gehrsitz, H. Sigg, N. Herres, K. Bachem, K. Kohler, F.K. Reinhart. Phys. Rev. B, 60, 11601 (1999)
  8. Z.R. Wasilewski, M.M. Dion, D.J. Lockwood, P. Poole, R.W. Streater, A.J. Spring-Thorpe. J. Appl. Phys., 81 (4), 1683 (1997)
  9. B.K. Tanner, A.G. Tumbull, S.R. Stanley, A.H. Kean, M. McElhinney. Appl. Phys. Lett., 59, 2272 (1991)
  10. M.S. Goorsky, T.F. Kuech, M.A. Tischler, R.M. Potemski. Appl. Phys. Lett., 59, 2269 (1991)
  11. Ю.Н. Дроздов, Л.Д. Молдавская. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей на многослойных эпитаксиальных структурах. Физика твердого тела: Лабораторный практикум, под ред. А.Ф. Хохлова (М., Высш. шк., 2001) т. 1
  12. Ю.Н. Дроздов, М.Н. Дроздов, А.В. Новиков, П.А. Юнин, Д.В. Юрасов. Изв. РАН. Сер. физ., 75 (1), 45 (2011)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.