Вышедшие номера
Квантово-размерный эффект в пленках кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода
Тысченко И.Е.1, Володин В.А.1,2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2012 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2012 г.

В пленки кремний-на-изоляторе толщиной 280 нм были имплантированы ионы водорода с энергией 24 кэВ дозой 5·1017 см-2. В спектрах комбинационного рассеяния света наблюдались пики, соответствующие локализации оптических фононов в нанокристаллах кремния с размерами 1.9-2.5 нм. Доля нанокристаллической фазы составляла ~10%. Обнаружена полоса фотолюминесценции с максимумом около 1.62 эВ, интенсивность которой имела немонотонную зависимость от температуры измерений в диапазоне 88-300 K. Рост излучательной рекомбинации при температуре менее 150 K объясняется в рамках двухуровневой модели энергии сильно локализованных электронов и дырок. Величина энергии активации роста фотолюминесценции составляет 12.4 мэВ и соответствует энергии расщепления возбужденного состояния носителей зарядов, локализованных в нанокристалле кремния.