"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Деформация поверхности арсенида галлия в процессе осаждения золота
Брянцева Т.А.1, Любченко Д.В.1, Марков И.А.1, Тен Ю.А.1
1Институт радиоэлектроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук (Фрязинский филиал), Фрязино, Россия
Поступила в редакцию: 28 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2011 г.

Изучены явления деформации приповерхностных слоев арсенида галлия с помощью поверхностных акустических волн в процессе осаждения золота и облучения поверхности полупроводника светом разогретого испарителя. Показано, что в случае осаждения золота в результате фазовых превращений в системе Au-Ga-As происходит пластификация приповерхностных слоев, тогда как при облучении светом поверхности GaAs - формирование крупнозернистого слоя оксида с жидкоподобными прослойками. В результате изменяются вид деформаций поверхности и время их релаксации. Интегральные временные характеристики поверхностной акустической волны, такие как интегралы изменения ее скорости и рассеянной мощности, отражают протекающие на поверхности процессы в режиме реального времени. Суммарно они отображают текущую величину результирующей деформации. Определены параметры протекающих процессов, такие как величина энергии активации и времена релаксации.
  1. T.A. Briantseva, Z.N. Lebedeva, I.A. Markov, T.J. Bullough, D.V. Lioubtchenko. App. Surf. Sci., 143, 223 (1999)
  2. D.V. Lioubtchenko, I.A. Markov, T.A. Briantseva. App. Surf. Sci., 211 (1--4), 335 (2003)
  3. T.A. Briantseva, T.J. Bullough, D.V. Lioubtchenko, I.A. Markov, E.M. Tolmachev. Abstracts 9th Int. Conf. on Phonon Scattering in Condensed Matter (Lancaster, UK, 1998)
  4. Т.А. Брянцева, В.Е. Любченко, Д.В. Любченко, И.А. Марков. Инженерная физика, 2, 31 (2008)
  5. Т.А. Брянцева, Д.В. Любченко, И.А. Марков, Е.М. Толмачев. Неорг. матер., 45 (8), 901 (2009)
  6. I.A. Markov, T.A. Briantseva, D.V. Lioubtchenko. Proc. Int. Conf. of Mass and Charge Transport in Inorganic Materials (Italy, 2000) p. 701
  7. T.A. Briantseva, I.A. Markov, D.V. Lioubtchenko. Proc. Int. Conf. of Mass and Charge Transport in Inorganic Materials (Italy, 2000) p. 477
  8. D.V. Lioubtchenko, I.A. Markov, T.A. Briantseva, V.E. Lioubtchenko. Proc. WOCSDICE 2001 (Cagliari, Italy, May, 2001) p. 123
  9. В.М. Фридкин. Динамика решетки и фазовые переходы. Современная кристаллография (М., Наука, 1979) т. 2, гл. 4, с. 262
  10. С.О. Гладков. Физика композитов. Термодинамические и диссипативные свойства (М., Наука, 1999)
  11. А.А. Детлаф, Б.М. Яворский. Волны в упругой среде. Курс физики (М., Высш. шк., 1989)
  12. Ю.Г. Фролов. Количественные характеристики когезии и адгезии. Курс коллоидной химии. Поверхностные явления и дисперсные системы (М., Химия, 1982)
  13. Я.И. Френкель. Введение в теорию металлов (Л., Наука, 1972)
  14. Арсенид галия. Получение, свойства и применение: Коллективная монография, под ред. Ф.П. Кесаманлы, Д.Н. Наследова (М., Наука, 1973)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.