"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Модификация электрических и оптических свойств пленок ZnO под действием ультрафиолетового излучения
Грузинцев А.Н.1, Волков В.Т.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2011 г.

Исследовано влияние ультрафиолетового облучения поликристаллических пленок оксида цинка (толщина 200 нм) на их электрическое сопротивление, прозрачность и люминесценцию в видимой и фиолетовой области спектра. Показано, что проводимость, прозрачность и краевая люминесценция пленок увеличиваются при облучении на воздухе и в вакууме с характерными временами порядка 100 мин. Установлена обратимость данных процессов, обусловленных десорбцией атомов и молекул кислорода с поверхности нанокристаллов пленки ZnO.
  1. M.H. Huang, F. Henning, Y. Haoquan, Y. Wu, H. Kind, E. Weber, R. Russo, P. Yang. Science, 292, 1897 (2001)
  2. P. Yang, H. Yan, S. Mao, R. Russo, J. Johnson, R. Saykally, N. Morris. Adv. Funct. Mater. 12, 323 (2002)
  3. G.C. Yi, C. Wang, W.I. Park. Semicond. Sci. Technol., 25, S22 (2005)
  4. S. Achour, A. Harabi, N. Tabet. Mater. Sci. Eng. B, 42, 284 (1996)
  5. R. Xie, T. Sekiguchi, T. Ishigaki, N. Ohashi, D. Li, D. Yang, B. Liu, Y. Bando. Appl. Phys. Lett., 88, 134103 (2006)
  6. А.Н. Грузинцев, В.Т. Волков, Е.Е. Якимов, Е.Б. Якимов. Поверхность, 7, 1 (2011)
  7. A.N. Gruzintsev, A.N. Red'kin, E.E. Yakimov, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi C, 8 (4), 1403 (2011)
  8. O. Lupana, V.V. Ursakic, G. Chaia, L. Chowa, G.A. Emelchenko, I.M. Tiginyanu, A.N. Gruzintsev, A.N. Redkin. Sensors and Actuators B, 144, 56 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.