Исследование p-n-переходов на основе 4H-SiC, изготовленных имплантацией бора, методом нестационарной емкостной спектроскопии
Иванов П.А.1, Потапов А.С.1, Самсонова Т.П.1, Korol'kov O.2, Sleptsuk N.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Tallinn University of Technology (Department of Electronics), Tallinn, Estonia
Поступила в редакцию: 23 марта 2011 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2011 г.
Методом нестационарной емкостной спектроскопии (DLTS) исследованы p-n-переходы, изготовленные имплантацией бора в эпитаксиальные пленки 4H-SiC n-типа проводимости с концентрацией доноров (8-9)· 1014 см-3. Обнаружен "аномальный" по знаку сигнал DLTS, который связывается с перезарядкой глубоких компенсирующих "борных" центров в n-области вблизи металлургической границы p-n-перехода.
- И.В. Грехов, П.А. Иванов, Н.Д. Ильинская, О.И. Коньков, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова. ФТП, 42 (2), 211 (2008)
- П.А. Иванов, И.В. Грехов, А.С. Потапов, Т.П. Самсонова. ФТП, 42 (7), 878 (2008)
- П.А. Иванов, И.В. Грехов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова, А.С. Потапов. ФТП, 43 (4), 527 (2009)
- П.А. Иванов, И.В. Грехов, А.С. Потапов, Н.Д. Ильинская, Т.П. Самсонова, О.И. Коньков. ФТП, 43 (9), 1249 (2009)
- Е.Н. Агафонов, У.А. Аминов, А.Н. Георгобиани, Л.С. Лепнев. ФТП, 35 (1), 48 (2001)
- М.Ю. Барабаненков, А.В. Леонов, В.Н. Мордкович, Н.М. Омельяновская. ФТП, 32 (5), 523 (1998)
- M. Gong, C.V. Reddy, C.D. Beling, S. Fung, G. Brauer, H. Wirth, W. Skorupa. Appl. Phys. Lett., 72 (21), 2739 (1998)
- S.W. Johnston, J.A.M. AbuShama, R. Noufi. 2005 MRS Spring Meeting Proc. (2005) v. 862-- 884, F5.35
- I. Thurzo, F. Dubecky. Phys. Status Solidi A, 89 (2), 693 (1985)
- Е.В. Астрова, А.А. Лебедев, А.А. Лебедев. ФТП, 19 (8), 1382 (1985)
- M.K. Linnarsson, M.S. Janson, A. Schoner, B.G. Svensson. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (2003) v. 742, K 6.1.1
- M.S. Janson, M.K. Linnarsson, A. Hallen, B.G. Svensson, H. Bleichner. Appl. Phys. Lett., 76 (11), 1434 (2000)
- S.W. Huh, J.J. Sumakeris, A.Y. Polyakov, M. Skowronski, P.B. Klein, B.V. Shanabrook, M.J. O'Loughlin. Mater. Sci. Forum, 527-- 529, 493 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
