"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Технология получения гетеропереходов в решетке двумерного фотонного кристалла на основе макропористого кремния
Жарова Ю.А.1, Федулова Г.В.1, Астрова Е.В.1, Балдычева А.В.2, Толмачев В.А.1, Перова Т.С.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Department of Electronic and Electrical Engineering, University of Dublin, Trinity College, Dublin 2, Ireland
Поступила в редакцию: 26 января 2011 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2011 г.

Предлагается конструкция и технология изготовления микрорезонаторной структуры на основе двойного гетероперехода в макропористом кремнии. Рассмотрен процесс изготовления полоски двумерного фотонного кристалла, состоящего из конечного числа периодов решетки, и технология формирования дефекта путем локального вскрытия макропор со стороны подложки с последующим заполнением их нематическим жидким кристаллом.
  1. E. Istrate, E.H. Sargent. Rev. Mod. Phys., 78, 455 (2006)
  2. B.S. Song, S. Noda, T. Asano, Y. Akahne. Nature Mater., 4, 207 (2005)
  3. Y. Takahashil, H. Hagino, Y. Tanaka, B.S. Song, T. Asano, S. Noda. Opt. Express, 15, 17 206 (2007)
  4. C. Smith, D.K.C. Wu, M.W. Lee, C. Monat, S.T. Hanic, C. Grillet, B.J. Eggleton. Appl. Phys. Lett., 91, 121 103 (2007)
  5. S.T. Hanic, C.M. Sterke, M.J. Steel. Opt. Express, 14, 12 451 (2006)
  6. F. Intonti, S. Vignolini, V. Turck, M. Colocci, P. Bettotti, L. Pavesi, S.L. Schweizer, R. Wehrspohn, D. Wiersma. Appl. Phys. Lett., 89, 211 117 (2006)
  7. V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 137, 653 (1990)
  8. V. Lehmann. Electrochemistry of Silicon (Germany, Wiley VCH, 2002)
  9. T. Geppert, S.L. Schweizer, U. Gosele, R.B. Wehrspohn. Appl. Phys. A, 84, 237 (2006)
  10. Е.В. Астрова, Г.В. Федулова, Е.В. Гущина. ФТП, 44 (12), 1666 (2010)
  11. S. Ottow, V. Lehmann, H. Foll. J. Electrochem. Soc., 143 (1), 385 (1996)
  12. Е.В. Астрова, Т.Н. Боровинская, В.А. Толмачев, Т.С. Перова. ФТП, 38 (9), 1125 (2004)
  13. J.D. Joannopoulos, S.G. Johnson, J.N. Winn, R.D. Meade. Photonic Crystals. Molding the Flow of Light. 2nd edn (Princeton University Press, Princeton and Oxford, 2008), http://press.princeton.edu
  14. Г.Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств (М., Радио и связь, 1991)
  15. I. Zubel, M. Kramkowska. Sensors Actuators A, 101, 255 (2002)
  16. V.A. Tolmachev, T.S. Perova, E.V. Astrova, B.Z. Volchek, J.K. Vij. Phys. Status Solidi A, 197 (2), 544 (2003)
  17. F. Genereux, S.W. Leonard, H.M. van Driel, A. Birner, U. Gosele. Phys. Rev. B, 63, 16 111 (R) (2001)
  18. Data from Merck K GaA, Germany
  19. S.-T. Wu. Opt. Eng., 26 (2), 1208 (1987)
  20. S.A. Dyakov, S.G. Tikhodeev, E.V. Astrova, V.A. Tolmachev, T.S. Perova, V.Yu. Timoshenko. SPIE, Photonics Europe, 12-16 April 2010, Brussele, Belgium (Presentation N 7717-62)
  21. А.Д. Ременюк, Е.В. Астрова, Р.Ф. Витман, T.S. Perova, В.А. Толмачев, J.K. Vij. ФТТ, 48 (2), 361 (2006)
  22. H.-S. Kitzerow, A. Lorenz, H. Matthias. Phys. Status Solidi A, 204 (11), 3754 (2007)
  23. T.S. Perova, E.V. Astrova, S.E. Tsvetkov, A.G. Tkachenko, J.K. Vij, S. Kumar. ФТТ, 44 (6), 1145 (2002)
  24. Л.М. Блинов. Электро- и магнитооптика жидких кристаллов (М., Наука, 1978)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.