"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Анодные пленки Ga2O3
Калыгина В.М.1, Зарубин А.Н.1, Найден Е.П.1, Новиков В.А.1, Петрова Ю.С.1, Толбанов О.П.1, Тяжев А.В.1, Яскевич Т.М.1
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 20 января 2011 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2011 г.

Представлены результаты исследования воздействия кислородной плазмы на пленки оксида галлия, полученные электрохимическим окислением пластин n-GaAs с концентрацией донорной примеси Nd=(1-2)·1016 см-3. Показано, что обработка пленок в кислородной плазме при температуре 50-90oC приводит к увеличению концентрации кристаллитов beta-фазы, что вызывает повышение относительной диэлектрической проницаемости, снижение тангенса угла диэлектрических потерь и изменение электропроводности структур GaAs--<оксид галлия>--металл.
  1. X. Li, C. Xia, X. He, G. Pei, J. Zhang, J. Xu. Chinese Optics Lett., 6 (4), 282 (2008)
  2. J. Hao, Z. Lou, I. Renaud, M. Cocivera. Thin Sol. Films, 467, 182 (2004)
  3. P. Wellenius, A. Suresh, J.F. Foreman, H.O. Everitt, J.F. Muth. Mater. Sci. Engin. B, 146, 252 (2008)
  4. T. Minami, T. Shirai, T. Nakatani, T. Miyata. Jpn. J. Appl. Phys., 39, L524 (2000)
  5. T. Miyata, N. Toshikuni, T. Minami. Thin Sol. Films, 373, 145 (2000)
  6. T. Miyata, T. Nakatani, T. Minami. Superficies y Vacio, 9, 70 (1999)
  7. M. Passlack, E.F. Shubert, W.S. Hobson, M. Hong, N. Moriya, S.N.G. Chu, K. Konstadinidis, J.P. Mannaerts, M.L. Schnoes, G.J. Zydzik. J. Appl. Phys., 7, 688 (1995)
  8. M. Ogita, K. Kobayashi, Y. Yamada, Y. Nakanashi, Y. Hatanaka. Indust. J. Appl. Phys., 1, 137 (2001)
  9. В.А. Рабинович, З.Я. Хавин. Краткий химический справочник (Изд. "Химия", Л., 1978)
  10. D.J. Fu, Y.H. Kwon, T.W. Kang, C.J. Park, K.H. Baek, H.Y. Cho, D.H. Shin. Appl. Phys. Lett., 80, 446 (2002)
  11. Y. Nakano, T. Jimbo. Appl. Phys. Lett., 82, 218 (2003)
  12. Z. Liu, T. Yamazaki, Y. Shen, T. Kikuta, N. Nakatani, Y. Li. Appl. Phys. Lett., 64, 2715 (1994)
  13. J.-T. Yan, C. T. Lee. Sensors Actuators B, 143, 192 (2009)
  14. M. Passlack, M. Hong, E.F. Shubert, J.R. Kwo, J.P. Mannaerts, S.N.G. Chu, N. Moriya, F.A. Thiel. Appl. Phys. Lett., 66 (5), 625 (1995)
  15. J.G. Zhao, Z.-X. Zhang, Z.-W. Ma, H.-G. Duan, X.-S. Guo, E.-Q. Xie. Chin. Phys. Lett., 25 (10), 3787 (2008)
  16. T. Miyata, T. Nakatani, T. Minami. J. Luminesc., 87--89, 1183 (2000)
  17. T. Minami, Y. Kuroi, H. Yamada, S. Takata, T. Miyata. J. Luminesc., 72--74, 997 (1997)
  18. S.-A. Lee, S.-Y. Jeong, J.-Y. Hwang, J.-P. Kim, M.-G. Ha, C.-R. Cho. Integr. Ferroelectr., 74, 173 (2005)
  19. К.И. Валиев, А.Н. Зарубин, В.М. Калыгина, В.А. Новиков, Ю.С. Петрова, М.С. Скакунов, А.В. Тяжев, Т.М. Яскевич. Изв. вузов. Физика, 53 (9/2), 301 (2010)
  20. А.Н. Зарубин, В.М. Калыгина, В.А. Новиков, Ю.С. Петрова, М.С. Скакунов, О.П. Толбанов, А.В. Тяжев, Т.М. Яскевич. ФТП, 44 (9), 1266 (2010)
  21. О.В. Анисимов, Н.К. Максимова, В.С. Кучерявенко, В.А. Новиков, Е.Ю. Севастьянов, Н.В. Сергейченко, Л.С. Хлудкова, Е.В. Черников. Изв. вузов. Физика, 53 (9/2), 349 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.