"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Эволюция оптических свойств при отжиге многослойной нанопериодической системы SiOx/ZrO2, содержащей нанокластеры кремния
Ершов А.В.1, Тетельбаум Д.И.1, Чугров И.А.1, Машин А.И.1, Михайлов А.Н.1, Нежданов А.В.1, Ершов А.А.1, Карабанова И.А.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 22 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.

Исследованы спектры фотолюминесценции, инфракрасного поглощения и комбинационного рассеяния света многослойных нанопериодических аморфных структур a-SiOx/ZrO2, полученных испарением в вакууме и затем отожженных при различных температурах 500-1100oC. Установлено, что эволюция оптических свойств по мере роста температуры отжига определяется трансформацией нанокластеров кремния, содержащихся в слоях SiOx в последовательности: нефазовые включения --- аморфные кластеры --- нанокристаллы, при наличии ограничения размеров последних толщиной исходных слоев SiOx и химических реакций с ZrO2.
  1. D.J. Lockwood. In: Spectroscopy of Emerging Materials, ed. by E.C. Faulques et. al. (N.Y.-Boston-Dordrecht-Mockow, Kluwer Academic Publishers, 2004) p. 97
  2. P.M. Fauchet. Mater. Today, 8, 26 (2005)
  3. G. Conibeer, M. Green, R. Corkish, Y. Cho, E.-C. Cho, C.-W. Jiang, T. Fangsuwannarak, E. Pink, Y. Huang, T. Puzzer, T. Trupke, B. Richards, A. Shalav, K.-l. Lin. Thin Sol. Films, 511-512, 654 (2006)
  4. P. Punchaipetch, Y. Uraoka, T. Fuyuki, A. Tomyo, E. Takahashi, T. Hayashi, A. Sano, S. Horii. Appl. Phys. Lett. 89, 093 502 (2006)
  5. T. Zheng, Z. Li. Superlat. Microstruct., 37, 227 (2005)
  6. М. Херман. Полупроводниковые сверхрешетки (М., Мир, 1989)
  7. M. Zacharias, J. Heitmann, R. Scholz, U. Kahler, M. Schmidt, J. Blasing. Appl. Phys. Lett., 80 (4), 661 (2002)
  8. L.X. Yi, J. Heitmann, R. Scholz, M. Zacharias. Appl. Phys. Lett., 81 (22), 4248 (2002)
  9. G.D. Wilk, R.M. Wallace, J.M. Anthony. J. Appl. Phys., 89 (10), 5243 (2001)
  10. Т.Н. Крылова. Интерференционные покрытия (Л., Машиностроение, 1973)
  11. А.Ф. Хохлов, И.А. Чучмай, А.В. Ершов. ФТП, 34 (3), 349 (2000)
  12. А.В. Ершов, И.А. Чугров, Д.И. Тетельбаум, С.С. Андреев, А.И. Белов, Ю.А. Вайнер, А.А. Ершов, И.А. Карабанова, А.И. Машин, А.Н. Михайлов. Вестн. Нижегор. ун-та им. Н.И. Лобачевского, 4, 45 (2009)
  13. H.Rinnert, M. Vergnat, G. Marchal, A. Burneau. Appl. Phys. Lett., 72 (24), 3157 (1998)
  14. Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, В.А. Володин, В.Г. Кеслер, А.Ф. Лейер, М.-О. Ruault. ФТП, 36 (6), 685 (2002)
  15. B.T. Sullivan, D.J. Lockwood, H.J. Labbe, Z.-H. Lu. Appl. Phys. Lett., 69 (21), 3149 (1996)
  16. M. Zacharias, D. Dimova-Malinovska, M. Stutzmann. Philos. Mag. B, 73, 799 (1996)
  17. А.Ф. Лейер, Л.Н. Сафронов, Г.А. Качурин. ФТП, 33 (4), 389 (1999)
  18. D.V. Tsu, G. Lucovsky, B.N. Davidson. Phys. Rev. B. 40, 1795 (1989)
  19. H. Ono, T. Ikarashi, K. Ando, T. Kitano. J. Appl. Phys., 84 (11), 6064 (1998)
  20. P. Lange. J. Appl. Phys., 66 (1), 201 (1989)
  21. R.M. Almeida, A.C. Marques, S. Pelliz, G.C. Righini, A. Chiasera, M. Mattarelli, M. Montagna, V. Tosello, R.R. Goncales, H. Portales, S. Chaussedent, M. Ferrari, L. Zampedri. Philos. Mag., 84, 1659 (2004)
  22. B.-O. Cho, S.X. Lao, J.P. Chang. J. Appl. Phys., 93 (11), 9345 (2003)
  23. X. Zhao, D. Vanderbilt. Phys. Rev. B, 65, 075 105 (2002)
  24. R. Tsu, H. Shen, M. Dutta. Appl. Phys. Lett., 60 (1), 112 (1992)
  25. L. Tsybeskov, K.D. Hirschman, S.P. Duttagupta, M. Zacharias, P.M. Fauchet, J.P. Mc Caffrey, D.J. Lockwood. Appl. Phys. Lett., 72 (1), 43 (1998)
  26. T. Inokuma, Y. Wakayama, T. Muramoto, R. Aoki, Y. Kurata, S. Hasegawa. J. Appl. Phys., 83 (4), 2228 (1998)
  27. Y. Cong, B. Li, B. Lei, W. Li. J. Luminecs., 126, 822 (2007)
  28. H. Rinnert, M. Vergnat, A. Burneau. J. Appl. Phys., 89 (1), 237 (2001)
  29. Аморфный кремний и родственные материалы, под ред. Х. Фрицше (М., Мир, 1991)
  30. C.C. Fulton, T.E. Cook, G. Lucovsky, R.J. Nemanich. J. Appl. Phys., 96 (5), 2665 (2004)
  31. J.-P. Maria, D. Wicaksana, A.I. Kingon, B. Busch, H. Schulte, E. Garfunkel, T. Gustafsson. J. Appl. Phys., 90 (7), 3476 (2001)
  32. А.В. Ершов. Тез. докл. VII Междунар. конф. по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе (Кремний --- 2010) (Н. Новгород, Изд-во Нижегор. гос. ун-та, 2010) с. 202

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.