Вышедшие номера
Вакансионная модель аннигиляции микротрубок в эпитаксиальных слоях карбида кремния
Давыдов С.Ю.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.

В рамках предложенной авторами ранее вакансионной модели гетерополитипной эпитаксии карбида кремния (ФТП, 39, 296 (2005); 41, 641 (2007)) рассмотрены кинетические процессы аннигиляции (зарастания) микротрубки, проникающей в растущий слой из затравки-подложки. Найдено соотношение между скоростью роста эпитаксиального слоя, временем жизни вакансии и толщиной дефектного слоя, при котором микротрубка зарастает. Учитываются оба типа вакансий - углеродные и кремниевые. Предложена также упрощенная линейная модель процесса зарастания микротрубки, в рамках которой определено соотношение между диаметром микротрубки r0 и толщиной дефектного слоя l*: l*=r0(G/g), где G - скорость роста слоя, g - скорость вакансии, что для реальных условий роста дает l*~6r0.