Вакансионная модель аннигиляции микротрубок в эпитаксиальных слоях карбида кремния
Давыдов С.Ю.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.
В рамках предложенной авторами ранее вакансионной модели гетерополитипной эпитаксии карбида кремния (ФТП, 39, 296 (2005); 41, 641 (2007)) рассмотрены кинетические процессы аннигиляции (зарастания) микротрубки, проникающей в растущий слой из затравки-подложки. Найдено соотношение между скоростью роста эпитаксиального слоя, временем жизни вакансии и толщиной дефектного слоя, при котором микротрубка зарастает. Учитываются оба типа вакансий - углеродные и кремниевые. Предложена также упрощенная линейная модель процесса зарастания микротрубки, в рамках которой определено соотношение между диаметром микротрубки r0 и толщиной дефектного слоя l*: l*=r0(G/g), где G - скорость роста слоя, g - скорость вакансии, что для реальных условий роста дает l*~6r0.
- М.Г. Мынбаева, П.Л. Абрамов, А.А. Лебедев, А.С. Трегубов, Д.П. Литвин, А.В. Васильев, Т.Ю. Чемекова, Ю.Н. Макаров. ФТП, 45 (6), 6441 (2011)
- А.А. Лебедев, С.Ю. Давыдов. ФТП, 39, 296 (2005)
- С.Ю. Давыдов, А.А. Лебедев. ФТП, 41, 641 (2007)
- А.А. Лебедев. ФТП, 33, 769 (1999)
- N.S. Savkina, A.A. Lebedev, A.S. Tregubova, M.P. Scheglov. Mater. Sci. Forum, 338--342, 509 (2000)
- N.S. Savkina, A.S. Tregubova, M.P. Scheglov, G. Mosina, V.A. Soloviev, A. Volkova, A.A. Lebedev. Mater. Sci. Eng., B, 91, 317 (2002)
- A.A. Lebedev, A.M. Strel'chuk, D.V. Davydov, N.S. Savkina, A.S. Tregubova, A.N. Kuznetsov, V.A. Soloviev, N.K. Poletaev. J. Mater. Res., 9, 940 (1994)
- С.Ю. Давыдов, А.А. Лебедев, Н.С. Савкина, M. Savajarvi, R. Yakimova. ФТП, 39, 153 (2004)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.