"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Вакансионная модель аннигиляции микротрубок в эпитаксиальных слоях карбида кремния
Давыдов С.Ю.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2011 г.

В рамках предложенной авторами ранее вакансионной модели гетерополитипной эпитаксии карбида кремния (ФТП, 39, 296 (2005); 41, 641 (2007)) рассмотрены кинетические процессы аннигиляции (зарастания) микротрубки, проникающей в растущий слой из затравки-подложки. Найдено соотношение между скоростью роста эпитаксиального слоя, временем жизни вакансии и толщиной дефектного слоя, при котором микротрубка зарастает. Учитываются оба типа вакансий --- углеродные и кремниевые. Предложена также упрощенная линейная модель процесса зарастания микротрубки, в рамках которой определено соотношение между диаметром микротрубки r0 и толщиной дефектного слоя l*: l*=r0(G/g), где G --- скорость роста слоя, g --- скорость вакансии, что для реальных условий роста дает l*~6r0.
  1. М.Г. Мынбаева, П.Л. Абрамов, А.А. Лебедев, А.С. Трегубов, Д.П. Литвин, А.В. Васильев, Т.Ю. Чемекова, Ю.Н. Макаров. ФТП, 45 (6), 6441 (2011)
  2. А.А. Лебедев, С.Ю. Давыдов. ФТП, 39, 296 (2005)
  3. С.Ю. Давыдов, А.А. Лебедев. ФТП, 41, 641 (2007)
  4. А.А. Лебедев. ФТП, 33, 769 (1999)
  5. N.S. Savkina, A.A. Lebedev, A.S. Tregubova, M.P. Scheglov. Mater. Sci. Forum, 338--342, 509 (2000)
  6. N.S. Savkina, A.S. Tregubova, M.P. Scheglov, G. Mosina, V.A. Soloviev, A. Volkova, A.A. Lebedev. Mater. Sci. Eng., B, 91, 317 (2002)
  7. A.A. Lebedev, A.M. Strel'chuk, D.V. Davydov, N.S. Savkina, A.S. Tregubova, A.N. Kuznetsov, V.A. Soloviev, N.K. Poletaev. J. Mater. Res., 9, 940 (1994)
  8. С.Ю. Давыдов, А.А. Лебедев, Н.С. Савкина, M. Savajarvi, R. Yakimova. ФТП, 39, 153 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.