Предложена достаточно простая методика поверхностного легирования SiC-подложки из импульсной лазерной плазмы каталитическим металлом, в частности платиной. Легирование достигается за счет внедрения высокоэнергетических ионов и ионного смешивания осаждаемой из плазмы пленки с поверхностным слоем подложки. Разработанная математическая модель позволяет проводить прогнозные расчеты энергетического спектра имплантируемых ионов платины на основе экспериментальных измерений основных физических характеристик импульсной лазерной плазмы и технических параметров высоковольтной системы. В результате исследования ионно-легированных слоев на кристалле n-6H-SiC выявлены особенности структурно-фазовых изменений поверхностных слоев кристалла при различных дозах "горячей" ионной имплантации (600^oC). На основе анализа экспериментальных данных выдвинуты предположения о различных твердофазных реакциях платины с карбидом кремния в зависимости от дозы имплантации, обусловливающих потерю или приобретение каталитических свойств наносистемами при образовании силицидов или металлоподобных кластеров соответственно. Оптимизация дозы ионной имплантации платины позволила получить на кристалле n-6H-SiC структуру, изменяющую электрофизические параметры в водородосодержащей среде при повышенных температурах.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.