"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Ионная имплантация платины из импульсной лазерной плазмы для формирования детектора водорода на кристалле n-6H-SiC
Фоминский В.Ю.1, Романов Р.И.1, Гнедовец А.Г.1, Зуев В.В.1, Демин М.В.1, Григорьев В.В.1
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 октября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2011 г.

Предложена достаточно простая методика поверхностного легирования SiC-подложки из импульсной лазерной плазмы каталитическим металлом, в частности платиной. Легирование достигается за счет внедрения высокоэнергетических ионов и ионного смешивания осаждаемой из плазмы пленки с поверхностным слоем подложки. Разработанная математическая модель позволяет проводить прогнозные расчеты энергетического спектра имплантируемых ионов платины на основе экспериментальных измерений основных физических характеристик импульсной лазерной плазмы и технических параметров высоковольтной системы. В результате исследования ионно-легированных слоев на кристалле n-6H-SiC выявлены особенности структурно-фазовых изменений поверхностных слоев кристалла при различных дозах "горячей" ионной имплантации (600oC). На основе анализа экспериментальных данных выдвинуты предположения о различных твердофазных реакциях платины с карбидом кремния в зависимости от дозы имплантации, обусловливающих потерю или приобретение каталитических свойств наносистемами при образовании силицидов или металлоподобных кластеров соответственно. Оптимизация дозы ионной имплантации платины позволила получить на кристалле n-6H-SiC структуру, изменяющую электрофизические параметры в водородосодержащей среде при повышенных температурах.
  1. A. Trinchi, S. Kandasamy, W. Wlodarski. Sensors Actuators B, 133, 705 (2008)
  2. S. Nakagomi, K. Okuda, Y. Kokubun. Sensors Actuators B, 96, 364 (2003)
  3. K. Luongo, A. Sine, S. Bhansali. Sensors Actuators B, 111- 112, 125 (2005)
  4. L. Velardi, A. Lorusso, V. Nassisi, G. Congedo. Rad. Eff. Def. Solids, 163, 491 (2008)
  5. C.I. Muntele, D. Ila, E.K. Williams, D.B. Poker, D.K. Hensley, D.J. Larkin, I. Muntele. Mater. Sci. Forum, 338- 342, 1443 (2000)
  6. A. Samman, S. Gebremariam, L. Rimai, X. Zhang, J. Hangas, G.W. Auner. Sensors Actuators B, 63, 91 (2000)
  7. V.Yu. Fominski, V.N. Nevolin, I. Smurov. J. Appl. Phys., 96, 2374 (2004)
  8. В.Н. Неволин, В.Ю. Фоминский, А.Г. Гнедовец, Г.А. Киселев. ЖТФ, 77 (11), 88 (2007)
  9. R. Kelly, R.W. Dreyfus. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 32, 341 (1988)
  10. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. SRIM --- The Stopping and Range of Ions in Matter. http://www.srim.org/
  11. R. Nagel, K. Weyrich, D.H.H. Hofmann, A.G. Balogh. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 178, 315 (2001)
  12. Р.И. Романов, В.В. Зуев, В.Ю. Фоминский, М.В. Демин, В.В. Григорьев. ФТП, 44 (9), 1229 (2010)
  13. I. Shalish, C.E.M. de Oliveira, Yoram Shapira, L. Burstein, M. Eizenberg. J. Appl. Phys., 88 (10), 5724 (2000)
  14. В.Ю. Фоминский, Р.И. Романов, А.Г. Гнедовец, В.В. Зуев, М.В. Демин. ФТП, 44 (4), 556 (2010)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.