"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Ионная имплантация платины из импульсной лазерной плазмы для формирования детектора водорода на кристалле n-6H-SiC
Фоминский В.Ю.1, Романов Р.И.1, Гнедовец А.Г.1, Зуев В.В.1, Демин М.В.1, Григорьев В.В.1
1Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 октября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2011 г.

Предложена достаточно простая методика поверхностного легирования SiC-подложки из импульсной лазерной плазмы каталитическим металлом, в частности платиной. Легирование достигается за счет внедрения высокоэнергетических ионов и ионного смешивания осаждаемой из плазмы пленки с поверхностным слоем подложки. Разработанная математическая модель позволяет проводить прогнозные расчеты энергетического спектра имплантируемых ионов платины на основе экспериментальных измерений основных физических характеристик импульсной лазерной плазмы и технических параметров высоковольтной системы. В результате исследования ионно-легированных слоев на кристалле n-6H-SiC выявлены особенности структурно-фазовых изменений поверхностных слоев кристалла при различных дозах "горячей" ионной имплантации (600oC). На основе анализа экспериментальных данных выдвинуты предположения о различных твердофазных реакциях платины с карбидом кремния в зависимости от дозы имплантации, обусловливающих потерю или приобретение каталитических свойств наносистемами при образовании силицидов или металлоподобных кластеров соответственно. Оптимизация дозы ионной имплантации платины позволила получить на кристалле n-6H-SiC структуру, изменяющую электрофизические параметры в водородосодержащей среде при повышенных температурах.
  • A. Trinchi, S. Kandasamy, W. Wlodarski. Sensors Actuators B, 133, 705 (2008)
  • S. Nakagomi, K. Okuda, Y. Kokubun. Sensors Actuators B, 96, 364 (2003)
  • K. Luongo, A. Sine, S. Bhansali. Sensors Actuators B, 111- 112, 125 (2005)
  • L. Velardi, A. Lorusso, V. Nassisi, G. Congedo. Rad. Eff. Def. Solids, 163, 491 (2008)
  • C.I. Muntele, D. Ila, E.K. Williams, D.B. Poker, D.K. Hensley, D.J. Larkin, I. Muntele. Mater. Sci. Forum, 338- 342, 1443 (2000)
  • A. Samman, S. Gebremariam, L. Rimai, X. Zhang, J. Hangas, G.W. Auner. Sensors Actuators B, 63, 91 (2000)
  • V.Yu. Fominski, V.N. Nevolin, I. Smurov. J. Appl. Phys., 96, 2374 (2004)
  • В.Н. Неволин, В.Ю. Фоминский, А.Г. Гнедовец, Г.А. Киселев. ЖТФ, 77 (11), 88 (2007)
  • R. Kelly, R.W. Dreyfus. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 32, 341 (1988)
  • J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. SRIM --- The Stopping and Range of Ions in Matter. http://www.srim.org/
  • R. Nagel, K. Weyrich, D.H.H. Hofmann, A.G. Balogh. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 178, 315 (2001)
  • Р.И. Романов, В.В. Зуев, В.Ю. Фоминский, М.В. Демин, В.В. Григорьев. ФТП, 44 (9), 1229 (2010)
  • I. Shalish, C.E.M. de Oliveira, Yoram Shapira, L. Burstein, M. Eizenberg. J. Appl. Phys., 88 (10), 5724 (2000)
  • В.Ю. Фоминский, Р.И. Романов, А.Г. Гнедовец, В.В. Зуев, М.В. Демин. ФТП, 44 (4), 556 (2010)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.