"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности фотоэлектрических и оптических свойств пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных плазмохимическим осаждением из смеси моносилана с водородом
Казанский А.Г.1, Теруков Е.И.2, Форш П.А.1, Хенкин М.В.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 октября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2011 г.

Исследованы фотоэлектрические и оптические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных плазмохимическим осаждением из смеси моносилана с водородом при относительной доли водорода в газовой смеси, соответствующей условиям начала формирования нанокристаллической фазы в структуре получаемых пленок. Получен необычный для пленок аморфного гидрогенизированного кремния характер поведения фотопроводимости и спектральной зависимости коэффициента поглощения. Температурные зависимости фотопроводимости исследованных пленок зависели от энергии падающих квантов. Для энергии квантов 1.3 эВ наблюдался эффект температурного гашения фотопроводимости. Длительное освещение исследованных пленок приводило к некоторому уменьшению коэффициента поглощения в области энергий квантов 1.2-1.5 эВ. Полученные результаты объясняются возможным присутствием нанокристаллов кремния в структуре исследованных пленок и их влиянием на фотоэлектрические и оптические свойства.
  1. A.G. Kazanskii, G. Kong, X. Zeng, H. Hao, F. Liu. J. Non-Cryst. Sol., 354, 2282 (2008)
  2. P. Gogoi, H.S. Jha, D. Deva, P. Agarwal. Phys. Status Solidi C, 7, 592 (2010)
  3. M. Ledinsky, L. Fekete, J. Stuchlik, T. Mates, A. Fejfar, J. Kocka. J. Non-Cryst. Sol., 352, 1209 (2006)
  4. S. Reinolds, R. Carius, F. Finger, V. Smirnov. Thin Sol. Films, 517, 6392 (2009)
  5. D.V. Tsu, B.S. Chao, S.R. Ovshinsky, S.J. Jones, J. Yang, S. Guha, R. Tsu. Phys. Rev. B, 63, 125 338 (2001)
  6. S. Muthamann, F. Kohler, R. Carius, A. Gordijn. Phys. Status Solidi A, 207, 544 (2010)
  7. K. Murayama, K. Monji, H. Deki. Phys. Status Solidi C, 7, 674 (2010)
  8. Ye.S. Shcherbyna, T.V. Torchynska. Thin Sol. Films, 518, S204 (2010)
  9. D. Han, G. Yue, J.D. Lorentzen, J. Lin, H. Habuchi, Qi Wang. J. Appl. Phys., 87, 1882 (2000)
  10. N.M. Liao, W. Li, Y.D. Jiang, Y.J. Kuang, K.C. Qi, Z.M. Wu, S.B. Li. Appl. Phys. A, 91, 349 (2008)
  11. S. Gupta, R.S. Kaijar, G. Morell, S.Z. Weisz. Appl. Phys. Lett., 75, 2803 (1999)
  12. D.L. Staebler, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 31, 292 (1977)
  13. C. Main, S. Reinolds, I. Zrinscak, A. Merazga. J. Non-Cryst. Sol., 338--340, 338 (2004)
  14. R. Platz, R. Bruggemann, G.H. Bauer. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 355 (1993)
  15. J. Meier, S. Dubail, J. Cuperus, U. Kroll, R. Platz, P. Torres, J.A. Anna Selvan, P. Pernet, N. Beck, N. Pellaton Vaucher, Ch. Hof, D. Fischer, H. Keppner, A. Shah. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 1250 (1998)
  16. M. Shmidt, L. Korte, A. Laades, R. Stangl, Ch. Schubert, H. Angermann, E. Conrad, K.V. Maidel. Thin Sol. Films, 515, 7475 (2007)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.