"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Кристаллизация пленок аморфного гидрогенизированного кремния с применением фемтосекундных лазерных импульсов
Володин В.А.1,2, Качко А.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 14 июля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 января 2011 г.

Для кристаллизации пленок гидрогенизированного аморфного кремния на стеклянных подложках было использовано излучение титан-сапфирового лазера с длительностью импульсов <30 фс. Исходные пленки выращивались с применением метода плазмохимического осаждения при температурах 200 и 250oC. Структурные свойства исходных и обработанных импульсами лазерного излучения пленок были исследованы с помощью метода спектроскопии комбинационного рассеяния света. Найдены режимы полной кристаллизации пленок на стекле с толщинами до 100 нм, содержащих до 20 ат% водорода, с хорошей однородностью при сканирующих обработках. Обнаружено, что при содержании водорода в пленках 30--40 ат% процесс кристаллизации неоднороден, наблюдается лазерная абляция некоторых областей пленок.
  1. M.S. Shur, S.L. Rumyantsev, R. Gaska. 10th Intern. Symp. Nanostructures: Physics and Technology" (2002) p. 618
  2. T. Sameshima, M. Hara, N. Sano, S. Usui. Jpn J. Appl. Phys., 29, L1363 (1990)
  3. T. Sameshima, S. Usui. J. Appl. Phys., 70, 1281 (1991)
  4. M.D. Efremov, V.V. Bolotov, V.A. Volodin, L.I. Fedina, E.A. Lipatnikov. J. Phys.: Condens. Matter, 8, 273 (1996)
  5. М.Д. Ефремов, В.В. Болотов, В.А. Володин, С.А. Кочубей, А.В. Кретинин. ФТП, 36, 109 (2002)
  6. J.-M. Shien, Z.-H. Chen, B.-T. Dai, Y.-C. Wang, A. Zaitsev, C.-L. Pan. Appl. Phys. Lett., 85, 1232 (2004)
  7. G.J. Lee, S.H. Song, Y.P. Lee, H. Cheong, C.S. Yoon, Y.D. Son, J. Jang. Appl. Phys. Lett., 89, 151 907 (2006)
  8. В.А. Володин, М.Д. Ефремов, Г.А. Качурин, А.Г. Черков, M. Deutschmann, N. Baersch. Письма ЖЭТФ, 86, 128 (2007)
  9. V.A. Volodin, T.T. Korchagina, J. Koch, B.N. Chichkov. Physica E, 42, 1820 (2010)
  10. Дж. Джоунопулос, Дж. Люковски. Физика гидрогенизированного кремния (М., Мир, 1987) кн. 1, с. 193
  11. V. Pailard, P. Puech. J. Appl. Phys., 86, 1921 (1999)
  12. И.В. Антонова, М.Б. Гуляев, З.Ш. Яновицкая, В.А. Володин, Д.В. Марин, М.Д. Ефремов, Y. Goldstein, J. Jedrzejewski. ФТП, 40, 1229 (2006)
  13. Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, В.А. Володин, В.Г. Кеслер, А.Ф. Лейер, M.O. Ruault. ФТП, 36, 685 (2002)
  14. А.С. Качко, В.Н. Ваховский, В.А. Володин. Вест. НГУ. Сер. Физика, 5, 48 (2010)
  15. J.A. Van Vechtee, R. Tsu, F.W. Saris. Phys. Lett. A, 74, 422 (1979)
  16. J. Bok. Phys. Lett. A, 84, 448 (1981)
  17. P. Stampfli, K.H. Bennemann. Phys. Rev. B, 42, 7163 (1990).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.