"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Зависимость концентрации ионизованных доноров от температуры эпитаксии для слоев Si : Er/Si, выращенных методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии
Кузнецов В.П.1,2, Шмагин В.Б.2, Дроздов М.Н.2, Марычев М.О.3, Кудрявцев К.Е.2, Кузнецов М.В.1, Андреев Б.А.2, Корнаухов А.В.1, Красильник З.Ф.2
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 6 мая 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

Исследована зависимость концентраций примеси Er и ионизованных доноров от температуры эпитаксии для слоев Si : Er/Si, выращенных методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии, до и после отжига. Слои n-Si : Er выращивались в интервале температур 400-800oC и отжигались в атмосфере водорода при температуре 800oC в течение 30 мин. Обсуждается возможная природа донорных центров.
  • V.V. Emtsev, V.V. Emtsev Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev, J. Michel, L.C. Kimerling. Physica B, 273-- 274, 346 (1999)
  • I. Izeddin, M.A.J. Klik, N.Q. Vinh, M.S. Bresler, T. Gregorkiewicz. PRL 99, 077 401 (2007)
  • О.В. Белова, В.Н. Шабанов, А.П. Касаткин, О.А. Кузнецов, А.Н. Яблонский, М.В. Кузнецов, В.П. Кузнецов, А.В. Корнаухов, Б.А. Андреев, З.Ф. Красильник. ФТП, 42, 136 (2008)
  • S. Scalese, G. Franzo, S. Mirabella, M. Re, A. Terrasi, F. Priolo, E. Rimini, C. Spinella, A. Carnera. J. Appl. Phys., 88 (7), 4091 (2000)
  • В.П. Кузнецов, Р.А. Рубцова. ФТП, 34, 519 (2000)
  • Б.А. Андреев, А.Ю. Андреев, Д.М. Гапонова, З.Ф. Красильник, А.В. Новиков, М.В. Степихова, В.Б. Шмагин, В.П. Кузнецов, У.А. Ускова, S. Lanzerstorfer. Изв. АН. Сер. физ., 64 (2), 269 (2000)
  • В.П. Кузнецов, А.Ю. Андреев, Н.А. Алябина. Электронная промышленность, N 9, 57 (1990)
  • N.Q. Vinh, H. Przybylinska, Z.F. Krasil'nik, T. Gregorkiewicz. Phys. Rev. B, 70, 115 332 (2004)
  • P. Wagner, J. Hage. Appl. Phys. A, 49, 123 (1989)
  • M. Stepikhova, B. Andreev, Z. Krasil'nik, A. Soldatkin, V. Kuznetsov, O. Gusev. B 81, 67 (2001)
  • В.Б. Шмагин, Д.Ю. Ремизов, З.Ф. Красильник, В.П. Кузнецов, В.Н. Шабанов, Л.В. Красильникова, Д.И. Крыжков, М.Н. Дроздов. 46, 110 (2004)
  • В.П. Кузнецов, Д.Ю. Ремизов, В.Н. Шабанов, Р.А. Рубцова, М.В. Степихова, Д.И. Крыжков, А.Н. Шушунов, О.В. Белова, З.Ф. Красильник, Г.А. Максимов. ФТП, 40, 868 (2006)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.