"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Зависимость концентрации ионизованных доноров от температуры эпитаксии для слоев Si : Er/Si, выращенных методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии
Кузнецов В.П.1,2, Шмагин В.Б.2, Дроздов М.Н.2, Марычев М.О.3, Кудрявцев К.Е.2, Кузнецов М.В.1, Андреев Б.А.2, Корнаухов А.В.1, Красильник З.Ф.2
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 6 мая 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

Исследована зависимость концентраций примеси Er и ионизованных доноров от температуры эпитаксии для слоев Si : Er/Si, выращенных методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии, до и после отжига. Слои n-Si : Er выращивались в интервале температур 400-800oC и отжигались в атмосфере водорода при температуре 800oC в течение 30 мин. Обсуждается возможная природа донорных центров.
  1. V.V. Emtsev, V.V. Emtsev Jr., D.S. Poloskin, E.I. Shek, N.A. Sobolev, J. Michel, L.C. Kimerling. Physica B, 273-- 274, 346 (1999)
  2. I. Izeddin, M.A.J. Klik, N.Q. Vinh, M.S. Bresler, T. Gregorkiewicz. PRL 99, 077 401 (2007)
  3. О.В. Белова, В.Н. Шабанов, А.П. Касаткин, О.А. Кузнецов, А.Н. Яблонский, М.В. Кузнецов, В.П. Кузнецов, А.В. Корнаухов, Б.А. Андреев, З.Ф. Красильник. ФТП, 42, 136 (2008)
  4. S. Scalese, G. Franzo, S. Mirabella, M. Re, A. Terrasi, F. Priolo, E. Rimini, C. Spinella, A. Carnera. J. Appl. Phys., 88 (7), 4091 (2000)
  5. В.П. Кузнецов, Р.А. Рубцова. ФТП, 34, 519 (2000)
  6. Б.А. Андреев, А.Ю. Андреев, Д.М. Гапонова, З.Ф. Красильник, А.В. Новиков, М.В. Степихова, В.Б. Шмагин, В.П. Кузнецов, У.А. Ускова, S. Lanzerstorfer. Изв. АН. Сер. физ., 64 (2), 269 (2000)
  7. В.П. Кузнецов, А.Ю. Андреев, Н.А. Алябина. Электронная промышленность, N 9, 57 (1990)
  8. N.Q. Vinh, H. Przybylinska, Z.F. Krasil'nik, T. Gregorkiewicz. Phys. Rev. B, 70, 115 332 (2004)
  9. P. Wagner, J. Hage. Appl. Phys. A, 49, 123 (1989)
  10. M. Stepikhova, B. Andreev, Z. Krasil'nik, A. Soldatkin, V. Kuznetsov, O. Gusev. B 81, 67 (2001)
  11. В.Б. Шмагин, Д.Ю. Ремизов, З.Ф. Красильник, В.П. Кузнецов, В.Н. Шабанов, Л.В. Красильникова, Д.И. Крыжков, М.Н. Дроздов. 46, 110 (2004)
  12. В.П. Кузнецов, Д.Ю. Ремизов, В.Н. Шабанов, Р.А. Рубцова, М.В. Степихова, Д.И. Крыжков, А.Н. Шушунов, О.В. Белова, З.Ф. Красильник, Г.А. Максимов. ФТП, 40, 868 (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.