Импульсные полупроводниковые лазеры с повышенной оптической прочностью выходных зеркал резонатора
Петрунов А.Н.1, Подоскин А.А.1, Шашкин И.С.1, Слипченко С.О.1,2, Пихтин Н.А.1,2, Налет Т.А.1,2, Фетисова Н.В.1,2, Вавилова Л.С.1,2, Лютецкий А.В.1,2, Алексеев П.А.2, Титков А.Н.2, Тарасов И.С.2
1ООО "Эльфолюм", Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 октября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.
Разработаны и созданы методом МОС-гидридной эпитаксии асимметричные гетероструктуры со сверхтолстым волноводом на основе системы твердых растворов AlGaAs/GaAs, позволяющие получать излучение на длине волны 905 нм. Внутренние оптические потери и внутренний квантовый выход полупроводниковых лазеров, изготовленных на основе таких структур, составили 0.7 см-1 и 97% соответственно. Показано, что в импульсном режиме для лазерных диодов с просветляющими, SiO2, и отражающими, Si/SiO2, покрытиями, нанесенными на необработанные грани резонатора Фабри-Перо, полученные сколом в атмосфере кислорода, максимальная выходная оптическая мощность достигала 67 Вт и ограничивалась разрушением зеркал. Обработка граней резонатора Фабри-Перо путем травления в плазме аргона и формирование покрытий с пассивирующими и блокирующими кислород слоями GaN, Si3N4 позволили увеличить максимальную выходную оптическую мощность до 120 Вт. При достигнутом уровне выходной оптической мощности разрушение зеркал отсутствовало.
- С. Сысоева. Компоненты и технологии, N 4, 19 (2007)
- M. Ettenberg, H. Kressel. IEEE J. Quant. Electron., 16 (2), 186 (1980)
- А.Ю. Андреев, А.Ю. Лешко, А.В. Лютецкий, А.А. Мармалюк, Т.А. Налет, А.А. Падалица, Н.А. Пихтин, Д.Р. Сабитов, В.А. Симаков, С.О. Слпиченко, М.А. Хомылев, И.С. Тарасов. ФТП, 40 (5), 628 (2006)
- В.В. Безотосный, В.В. Васильева, Д.А. Винокуров, В.А. Капитонов, О.Н. Крохин, А.Ю. Лешко, А.В. Лютецкий, А.В. Мурашова, Т.А. Налет, Д.Н. Николаев, Н.А. Пихтин, Ю.М. Попов, С.О. Слипченко, А.Л. Станкевич, Н.В. Фетисова, В.В. Шамахов, И.С. Тарасов. ФТП, 42 (3), 357 (2008)
- S.O. Slipchenko, A.D. Bondarev, V.A. Kapitonov, A.V. Lyutetskiy, A.A. Maramlyuk, T.A. Nalet, A.A. Panin, N.A. Pikhtin, D.R. Sabitov, K.Yu. Telegin, S.A. Zorina, V.A. Simakov, I.S. Tarasov. Tech. Digest XIII Conf. on Laser Optics (LO'2008) (Russia, St. Petersburg, 2008) ThR3-p18
- P. Ressel, G. Erbert, U. Zeimer, K. Hausler, G. Beister, B. Sumpf, A. Klehr, G. Trankle. IEEE Phot. Techn. Lett., 17 (5), 962 (2005)
- C.L. Walker, A.C. Bryce, J.H. Marsh. IEEE Phot. Techn. Lett., 14 (10), 1394 (2002)
- А.Ю. Андреев, С.А. Зорина, А.Ю. Лешко, А.В. Лютецкий, А.А. Мармалюк, А.В. Мурашова, Т.А. Налет, А.А. Падалица, Н.А. Пихтин, Д.Р. Сабитов, В.А. Симаков, С.О. Слипченко, К.Ю. Телегин, В.В. Шамахов, И.С. Тарасов. ФТП, 43 (4), 543 (2009)
- С.О. Слипченко, Д.А. Винокуров, Н.А. Пихтин, З.Н. Соколова, А.Л. Станкевич, И.С. Тарасов, Ж.И. Алфёров. ФТП, 38 (12), 1477 (2004)
- Д.А. Винокуров, А.Л. Станкевич, В.В. Шамахов, В.А. Капитонов, А.Ю. Лешко, А.В. Лютецкий, Д.Н. Николаев, Н.А. Пихтин, Н.А. Рудова, З.Н. Соколова, С.О. Слипченко, М.А. Хомылев, И.С. Тарасов. ФТП, 40 (6), 764 (2006)
- Ж.И. Алфёров, М.А. Иванов, Ю.В. Ильин, А.В. Лютецкий, Н.А. Пихтин, И.С. Тарасов. Письма ЖТФ, 21 (3), 64 (1995)
- G. Erbert, F. Bugge, J. Fricke, P. Ressel, R. Staske, B. Sumpf, H. Wenzel, M. Weyers, G. Trankle. IEEE J. Select. Topics Quant. Electron., 11 (5), 1217 (2005)
- L.A. Coldren, S.W. Corzine. Diode lasers and photonic integrated circuits (John Wiley \& Sons, Inc., 1995)
- С.О. Слипченко, З.Н. Соколова, Н.А. Пихтин, К.С. Борщёв, Д.А. Винокуров, И.С. Тарасов. ФТП, 40 (8), 1017 (2006)
- А.В. Анкудинов, В.П. Евтихиев, В.Е. Токранов, В.П. Улин, А.Н. Титков. ФТП, 33 (5), 594 (1999)
- C.H. Henry, P.M. Petroff, R.A. Logan, F.R. Merritt. J. Appl. Phys., 50 (5), 3721 (1979)
- V.L. Berkovits, L. Masson, I.V. Makarenko, V.P. Ulin. Appl. Surf. Sci., 254, 8023 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.