"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Фотопроводимость пленок гидрированного кремния с двухфазной структурой
Казанский А.Г.1, Теруков Е.И., Форш П.А.1, Kleider J.P.2,3,4,5
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Laboratoire de Genie Electrique de Paris, CNRS UMR
3UPMC Univ Paris 06
4Univ Paris-Sud
511 rue Joliot-Curie Plateau de Mouion, Gif-sur-Yvette Cedex, France
Поступила в редакцию: 15 июля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.

Исследованы электрические, фотоэлектрические и оптические свойства пленок гидрированного кремния с различным соотношением нанокристаллической и аморфной фаз в структуре материала. При переходе от аморфной к нанокристаллической структуре проводимость пленок при комнатной температуре возрастает более чем на 5 порядков величины. Изменение стационарной фотопроводимости при увеличении доли нанокристаллической составляющей в структуре пленок имеет немонотонный характер и определяется изменением подвижности и времени жизни носителей заряда. Введение малой доли нанокристаллов в аморфную матрицу приводит к уменьшению поглощения в "дефектной" области спектра и соответственно уменьшению концентрации дефектов типа оборванных связей, являющихся основными центрами рекомбинации носителей заряда в аморфном гидрированном кремнии. В то же время наблюдается уменьшение фотопроводимости в данных пленках, что может объясняться появлением новых центров, связанных с нанокристаллами и приводящих к уменьшению времени жизни неравновесных носителей заряда.
  1. S. Guha, J. Yang, D.L. Williamson, Y. Lubianiker, J.D. Cohen, A.H. Mahan. Appl. Phys. Lett., 74, 1860 (1999)
  2. J.Y. Ahn, K.H. Jun, K.S. Lim, M. Konagai. Appl. Phys. Lett., 82, 1718 (2003)
  3. C.R. Wronski, J.M. Pearce, J. Deng, V. Vlahos, R.W. Collins. Thin Sol. Films, 451--452, 470 (2004)
  4. T. Kamei, P. Stradins, A. Matsuda. Appl. Phys. Lett., 74, 1707 (1999)
  5. J. Kocka, T. Mates, M. Ledinsky, H. Stuchlikova, J. Stuchlik, A. Fejfar. J. Non-Cryst. Sol., 352, 1097 (2006)
  6. X. Hao, X. Liao, X. Zeng, H. Diao, G. Kong. J. Non-Cryst. Sol., 352, 1904 (2006)
  7. C. Main, S. Reinolds, I. Zrinscak, A. Merazga. J. Non-Cryst. Sol., 338--340, 228 (2004)
  8. N. Wirsch, F. Finger, T.J. Mc Mahon, M. Vanecek. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 347 (1991)
  9. S. Klein, F. Finger, R. Carius, T. Dylla, J.Klomfass. J. Appl. Phys., 102, 103 501 (2007)
  10. О. Astakhov, R. Carius, F. Finger, Y. Petrusenko, V. Borysenko, D. Barankov. Phys. Rev. B, 79, 104 205 (2009)
  11. H. Overhof, M. Otte. In: Future Directions in Thin Film Science and Technology, ed. by J.M. Marshall, N. Kirov, A. Vavrek, J.M. Maud (World Scientific, Singapore, 1996) p. 23

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.