"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Упорядоченные массивы нанокристаллов кремния в SiO2: структурные, оптические, электронные свойства
Антонова И.В.1, Скуратов В.А.2, Jedrzejewski J.3, Balberg I.3
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Объединенный центр ядерных исследований, Дубна, Россия
3Racah Institute of Physics, Hebrew University, Jerusalem, Israel
Поступила в редакцию: 3 августа 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.

Обнаружено, что облучение слоев SiO2, содержащих нанокристаллы кремния (нк-Si), тяжелыми ионами высоких энергий приводит к существенным структурным изменениям - формированию вертикально упорядоченных массивов нанокристаллов вдоль треков ионов. Следствием подобного воздействия является значительное изменение электрических (проводимости, вольт-фарадных характеристик) и оптических свойств (фотолюминесценции) слоев с нанокристаллами.
  1. K. Yano, T. Ishi, T. Hashimoto, T. Kobayashi, F. Murai, K. Seki. IEEE Trans. Electron. Dev., 41, 1628 (1994)
  2. M. Dovrat, Y. Goshen, J. Jedrzejewski, I. Balberg, A. Sa'ar. Phys. Rev. B, 69,155 311 (2004)
  3. A. Dutta, S. Oda, Y. Fu, M. Willander. Jpn. J. Appl. Phys., 39, 4647 (2000)
  4. J.J. Penninkhof, A. Polman, L.A. Sweatlock, S.A. Maier, H.A. Atwater, A.M. Vredenberg. Appl. Phys. Lett., 83, 4137 (2003)
  5. T. Van Dillen, M.J.A. de Dood, J.J. Penninkhof, A. Polman, S. Roorda, A.M. Vredenberg. Appl. Phys. Lett., 84, 3591 (2004)
  6. W.M. Arnoldbik, N. Tomoxeiu, E.D. van Hattum, R.W. Lof, A.M. Vredenberg, F.H.P.M. Habraken. Phys. Rev. B, 71, 125 329 (2004)
  7. I.V. Antonova, M.B. Gulyaev, E. Savir, J. Jedrzejewski, I. Balberg. Phys. Rev. B, 77, 125 318 (2008)
  8. I.V. Antonova, M.S. Kagan, A.G. Cherkov, V.A. Skuratov, J. Jedrzejewski, I. Balberg. Nanotechnology, 20, 185 401 (2009)
  9. I.V. Antonova, M.B. Gulyaev, A.G. Cherkov, D.V. Marin, V.A. Skuratov, J. Jedrzejewski, I. Balberg. Nanotechnology, 20, 095 205 (2009)
  10. I.V. Antonova, D.V. Marin, V.A. Volodin, V.A. Skuratov, J. Jedrzejewski, I. Balberg. Anisotropic Heating, Sol. St. Phenomena, 156-158, 523 (2009)
  11. I.V. Antonova, M.B. Gulyaev, V.A. Skuratov, D.V. Marin, E.V. Zaikina, Z.S. Yanovitskaya, J. Jedrzejewski, I. Balberg. Sol. St. Phenomena, 131-133, 541 (2008)
  12. P.S. Chaudhari, T.M. Bhave, R. Pasricha, F. Singh, D. Kanjilal, S.V. Bhoraskar. Nucl. Instr. Meth. 239, 185 (2005)
  13. L.W. Yu, K.J. Chen, L.C. Wu, M. Dai, W. Li, X.F. Huang. Phys. Rev. B, 71, 245 305 (2005)
  14. L.C. Wu, M. Dai, X. Huang, W. Li, K. Chen. J. Vac. Sci. Technol. B, 22, 678 (2004)
  15. D. Mathiot, J.P. Schunck, M. Perego, M. Fanciulli, P. Normand, C. Tsamis, D. Tsoukalas. J. Appl. Phys., 94, 2136 (2004)
  16. D. Tsoukalas, C. Tsamis, P. Normand. J. Appl. Phys., 89, 7809 (2001)
  17. R.M.C.De Almeida, S. Goncalves, J.R. Baumvol, F.C. Stediler. Phys. Rev. B, 61, 12 992 (2000)
  18. О.В. Александров, А.И. Дусь. ФТП, 42, 1400 (2008)
  19. В.А. Данько, И.З. Индутный, В.С. Лысенко, И.Ю. Майданчук, В.И. Минько, А.Н. Назаров, А.С. Ткаченко, П.Е. Шепелявый. ФТП, 39, 1139 (2005)
  20. L. Khomenkova, N. Korsunska, T. Stara, Ye. Venger, C. Sada, E. Trave, Y. Goldstein, J. Jedrzejewski, E. Savir. Thin Sol. Film, 515, 6749 (2007)
  21. T. Muller, K.-H. Heining, W. Muller. Appl. Phys. Lett., 81, 3049 (2002)
  22. M. Toulemonde, Ch. Dufour, A. Methah, E. Paumier. Nucl. Instr. Meth. B, 166-167, 903 (2000)
  23. T.Van Dillen, A. Polman, P.R. Onck, E. Van der Giessen. Phys. Rev. B, 71, 024 103 (2005)
  24. T.Van Dillen, M.J.A. de Dood, J.J. Penninkhof, A. Polman, S. Roorda, A.M. Vredenberg. Appl. Phys. Lett., 84, 3591 (2004)
  25. B. Schmidt, A. Mucklich, L. Rontzsch, K.-H. Heining. Nucl. Instr. Meth. B, 257, 30 (2007)
  26. Y.K. Mishna, F. Singh, K. Avashthi, J.C. Pivin, D. Malinovska, E. Pippel. Appl. Phys. Lett., 91, 063 103 (2007)
  27. E. Dawi, G. Rizza, A. Vredenberg. Abstracts Int. Conf. on Ion Beam Modification of Materials, 361 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.