"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние золота на свойства сенсоров диоксида азота на основе тонких пленок WO3
Анисимов О.В.1, Гаман В.И.2, Максимова Н.К.1, Найден Ю.П.2, Новиков В.А.2, Севастьянов Е.Ю.1, Рудов Ф.В.2, Черников Е.В.1
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 28 мая 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Исследованы микроструктура и свойства легированных золотом тонких пленок WO3 (WO3 : Au) до и после напыления на их поверхность дисперсного слоя Au. Установлено, что в слоях WO3 : Au появляется фаза gamma-WO2.72 и существенно увеличивается проводимость пленок. Напыление дисперсного слоя золота способствует возрастанию отклика сенсоров на воздействие NO2 в несколько раз. В предположении о наличии в пленках мостиков проводимости между кристаллитами WO3 получены аналитические выражения для концентрационных и временных зависимостей отклика сенсоров при воздействии диоксида азота. Анализ экспериментальных данных с помощью этих выражений позволил определить значения энергий активации процессов адсорбции и десорбции молекул NO2 на поверхность WO3 : Au, а также теплоту адсорбции.
  1. P. Ivanov, E. Llobet, F. Blanco, A. Vergara, X. Vilanova, I. Gracia, C. Cane, X. Correig. Sensors Actuators B, 118, 311 (2006)
  2. M. Penza, C. Martucci, G. Cassano. Sensors Actuators B, 50, 52 (1998)
  3. H. Xia, Y. Wang, F. Kong, S. Wang, B. Zhu, X. Guo, J. Zhang, Y. Wang, S. Wu. Sensors Actuators B, 134, 133 (2008)
  4. Химия и технология редких и рассеянных элементов, под ред. К.Ф. Большакова (М., Высш. шк., 1976) ч. III
  5. О.В. Анисимов, В.И. Гаман, Н.К. Максимова, С.М. Мазалов, Е.В. Черников. ФТП, 40, 724 (2006)
  6. В.И. Гаман. Изв. вузов. Физика, 51 (4), 84 (2008)
  7. И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
  8. M. Gillet, C. Lemure, E. Gillet, K. Aguir. Surf. Sci., 523- 535, 519 (2003)
  9. G. Korotchenkov, V. Brinzari, V. Golovanov, Y. Blinov. Sensors Actuators B, 98, 41 (2004)
  10. C.-J. Jin, T. Yamazaki, Y. Shirai, T. Yoshizawa, T. Kikuta, N. Nakatani, H. Takeda. Thin Sol. Films, 474, 255 (2005)
  11. M. Batzill, U. Diebold. Progr. Surf. Sci., 79, 47 (2005)
  12. В.И. Гаман, О.В. Анисимов, Н.К. Максимова, Н.В. Сергейченко, Е.Ю. Севастьянов, Е.В. Черников. Изв. вузов. Физика, 51 (8), 50 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.