Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние термического окисления на перенос носителей заряда в наноструктурированном кремнии
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия 
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.
Исследовано влияние кратковременного отжига на воздухе на проводимость пористого кремния в двух различных направлениях (вдоль и перпендикулярно поверхности образцов). Изучаемые в работе образцы получались методом электрохимического травления монокристаллических пластин кремния с ориентацией поверхности (100). Обнаружено, что термическое окисление оказывает различное влияние на проводимость слоев пористого кремния, измеряемую перпендикулярно и вдоль поверхности образцов: на окисленных образцах проводимость перпендикулярно поверхности заметно выше проводимости вдоль нее. Полученные результаты объяснены на основе модели переноса носителей заряда, учитывающей наличие потенциальных барьеров на границах кремниевых нанокристаллов.
- A.G. Gullis, L.T. Canham, P.D. Calcott. J. Appl. Phys. Lett., 82, 909 (1997)
- W. Theis. Surf. Sci. Rep., 29, 91 (1997)
- C. Pickering, M.I.J. Beale, D.J. Robbins, P.J. Pearson, R.Greet. J. Phys. C: Sol. St. Phys., 17 (10), 6535 (1984)
- Y.H. Xie, W.L. Wilson, F.M. Ross, J.A. Mucha, J.M. Macaulay, T.D. Harris. J. Appl. Phys., 71 (5), 2403 (1992)
- Л.П. Кузнецова, И.А. Ефимова, Л.А. Осминкина, Л.А. Головань, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. ФТТ, 44, 780 (2002)
- V. Lehmann, R. Stengl, A. Luigart. Mater. Sci. Engin. B, 69--70 (11--12), 11 (2000)
- С.П. Зимин, Е.П. Комаров. Письма ЖТФ, 24, 6 (1998)
- Е.В. Астрова, В.Б. Воронков, А.Д. Ременюк, В.А. Толмачев, В.Б. Шуман. ФТП, 33, 10 (1999)
- Л.В. Григорьев, И.М. Григорьев, М.В. Заморянская, В.И. Соколов, Л.М. Сорокин. Письма ЖТФ, 32, 17 (2006)
- B. Urbach, E. Axelrod, A. Sa'ar. Phys. Rev. B, 75, 205 330 (2007)
- С.П. Зимин, А.Н. Брагин. ФТП, 33, 4 (1999)
- N. Kunzner, D. Kovalev, L. Diener, E. Gross, V.Yu. Timoshenko, G. Polisski, F. Koch, M. Fujii. Opt. Lett., 26, 1265 (2001)
- V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, V. Lysenko, M.G. Lisachenko, F. Koch. Phys. Rev. B, 64, 085 314 (2001)
- Е.А. Константинова, Л.А. Осминкина, К.С. Шаров, Е.В. Курепина, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ЖЭТФ, 126 (10), 857 (2004)
- Р. Бьюб. Фотопроводимость твердых тел (М., Изд-во иностр. лит., 1962)
- V. Lehmann, F. Hofmann, F. Moller, U. Gruning. Thin Sol. Films, 255, 20 (1995).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
