"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние термического окисления на перенос носителей заряда в наноструктурированном кремнии
Агафонова Е.А.1, Мартышов М.Н.1, Форш П.А.1,2, Тимошенко В.Ю.1,2, Кашкаров П.К.1,2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Исследовано влияние кратковременного отжига на воздухе на проводимость пористого кремния в двух различных направлениях (вдоль и перпендикулярно поверхности образцов). Изучаемые в работе образцы получались методом электрохимического травления монокристаллических пластин кремния с ориентацией поверхности (100). Обнаружено, что термическое окисление оказывает различное влияние на проводимость слоев пористого кремния, измеряемую перпендикулярно и вдоль поверхности образцов: на окисленных образцах проводимость перпендикулярно поверхности заметно выше проводимости вдоль нее. Полученные результаты объяснены на основе модели переноса носителей заряда, учитывающей наличие потенциальных барьеров на границах кремниевых нанокристаллов.
  1. A.G. Gullis, L.T. Canham, P.D. Calcott. J. Appl. Phys. Lett., 82, 909 (1997)
  2. W. Theis. Surf. Sci. Rep., 29, 91 (1997)
  3. C. Pickering, M.I.J. Beale, D.J. Robbins, P.J. Pearson, R.Greet. J. Phys. C: Sol. St. Phys., 17 (10), 6535 (1984)
  4. Y.H. Xie, W.L. Wilson, F.M. Ross, J.A. Mucha, J.M. Macaulay, T.D. Harris. J. Appl. Phys., 71 (5), 2403 (1992)
  5. Л.П. Кузнецова, И.А. Ефимова, Л.А. Осминкина, Л.А. Головань, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. ФТТ, 44, 780 (2002)
  6. V. Lehmann, R. Stengl, A. Luigart. Mater. Sci. Engin. B, 69--70 (11--12), 11 (2000)
  7. С.П. Зимин, Е.П. Комаров. Письма ЖТФ, 24, 6 (1998)
  8. Е.В. Астрова, В.Б. Воронков, А.Д. Ременюк, В.А. Толмачев, В.Б. Шуман. ФТП, 33, 10 (1999)
  9. Л.В. Григорьев, И.М. Григорьев, М.В. Заморянская, В.И. Соколов, Л.М. Сорокин. Письма ЖТФ, 32, 17 (2006)
  10. B. Urbach, E. Axelrod, A. Sa'ar. Phys. Rev. B, 75, 205 330 (2007)
  11. С.П. Зимин, А.Н. Брагин. ФТП, 33, 4 (1999)
  12. N. Kunzner, D. Kovalev, L. Diener, E. Gross, V.Yu. Timoshenko, G. Polisski, F. Koch, M. Fujii. Opt. Lett., 26, 1265 (2001)
  13. V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, V. Lysenko, M.G. Lisachenko, F. Koch. Phys. Rev. B, 64, 085 314 (2001)
  14. Е.А. Константинова, Л.А. Осминкина, К.С. Шаров, Е.В. Курепина, П.К. Кашкаров, В.Ю. Тимошенко. ЖЭТФ, 126 (10), 857 (2004)
  15. Р. Бьюб. Фотопроводимость твердых тел (М., Изд-во иностр. лит., 1962)
  16. V. Lehmann, F. Hofmann, F. Moller, U. Gruning. Thin Sol. Films, 255, 20 (1995).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.