Вышедшие номера
Влияние термического окисления на перенос носителей заряда в наноструктурированном кремнии
Агафонова Е.А.1, Мартышов М.Н.1, Форш П.А.1,2, Тимошенко В.Ю.1,2, Кашкаров П.К.1,2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 23 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Исследовано влияние кратковременного отжига на воздухе на проводимость пористого кремния в двух различных направлениях (вдоль и перпендикулярно поверхности образцов). Изучаемые в работе образцы получались методом электрохимического травления монокристаллических пластин кремния с ориентацией поверхности (100). Обнаружено, что термическое окисление оказывает различное влияние на проводимость слоев пористого кремния, измеряемую перпендикулярно и вдоль поверхности образцов: на окисленных образцах проводимость перпендикулярно поверхности заметно выше проводимости вдоль нее. Полученные результаты объяснены на основе модели переноса носителей заряда, учитывающей наличие потенциальных барьеров на границах кремниевых нанокристаллов.