Вышедшие номера
Уменьшение поглощения в структурах кварц/Si, кварц/Si/SiO2 и SiC/Si/SiO2 под влиянием лазерной обработки
Лисоченко В.Н.1, Конакова Р.В.1, Коноплев Б.Г.2, Кушнир В.В.2, Охрименко О.Б.3, Светличный А.М.2
1LIMO --- Lissotchenko--Mikrooptik GmbH, Dortmund, Germany
2Таганрогский технологический институт Южного федерального университета, Таганрог, Россия
3Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 10 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Исследовано влияние лазерного излучения на спектры оптического поглощения систем кварц/Si, кварц/Si/SiO2 и SiC/Si/SiO2. Выявлены эффекты управления прозрачностью данной структуры.