"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Уменьшение поглощения в структурах кварц/Si, кварц/Si/SiO2 и SiC/Si/SiO2 под влиянием лазерной обработки
Лисоченко В.Н.1, Конакова Р.В.1, Коноплев Б.Г.2, Кушнир В.В.2, Охрименко О.Б.3, Светличный А.М.2
1LIMO --- Lissotchenko--Mikrooptik GmbH, Dortmund, Germany
2Таганрогский технологический институт Южного федерального университета, Таганрог, Россия
3Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 10 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Исследовано влияние лазерного излучения на спектры оптического поглощения систем кварц/Si, кварц/Si/SiO2 и SiC/Si/SiO2. Выявлены эффекты управления прозрачностью данной структуры.
  1. В.А. Карачинов. ФТП, 31, 53 (1997)
  2. Г.К. Сафаралиев, Ю.Н. Эмиров, М.К. Курбатов, Б.А. Биланов. ФТП, 34, 929 (2000)
  3. C. Boutopoulos, P. Terzis, I. Zergioti, A.G. Kontos, K. Zekentes, K. Giannakopoulos, Y.S. Raptis. Appl. Surf. Sci., 253, 7912 (2007)
  4. N.I. Cho, Y.M. Kim, J.S. Lim, C. Hong, Y. Sul, C.K. Lim. Thin Sol. Films, 409, 1 (2002)
  5. L.A. Marques, L. Pelaz, M. Aboy, J. Barbolla. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 216, 57 (2004)
  6. О.М. Жигалина, Д.Н. Хмеленин, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, И.Г. Лебо. ФТТ, 51, 1398 (2009)
  7. T. Arguirov, T. Mchedlidze, V.D. Akhmetov, S. Kouteva-Arguirova, M. Kitter, R. Rolver, B. Berghoff, M. Forst, D.L. Batzner, B. Spangenberg. Appl. Surf. Sci., 254, 1083 (2007)
  8. Zhijun Yuan, Qihong Lou, Jun Zhou, Jingxing Dong, Yunrong Wei, Zhijiang Wang, Hongming Zhao, Guohua Wu. Opt. Laser Technol., 41, 380 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.