"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Фрактальная геометрия поверхностного потенциала электрохимически осажденных пленок платины и палладия
Торхов Н.А.1, Новиков В.А.2
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
2Томский государственный универстет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 23 декабря 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.

Поверхностные потенциалы электрохимически осажденных тонких пленок палладия и платины сильно неоднородны и отражают зернистую структуру рельефов их поверхностей. Значения пространственных размерностей Хаусдорфа-Безиковича поверхностных потенциалов этих пленок значительно превышают топологическую размерность их проекций, что свидетельствует об их фрактальной геометрии. Было установлено, что поверхности пленок платины и палладия отличаются не только своим разбросом абсолютных значений неоднородностей поверхностных потенциалов, но и формой и характером их распределения. Это оказывает существенное влияние на способ формирования (геометрию) их потенциальных рельефов и на значения их фрактальных размерностей. Кроме того, фрактальная геометрия потенциальных рельефов поверхностей этих пленок приводит к тому, что изменение полного электрического заряда их поверхностей происходит не пропорционально квадрату изменения линейных размеров исследуемых участков, как в двумерном случае, а значительно медленнее --- пропорционально изменению их линейных размеров в степени (4-Df), где 2<Df<3. В результате показано, что для точного проектирования приборов с металлическими элементами субмикронных и наноразмеров на основе тонких пленок платины и палладия необходимо учитывать и их фрактальную геометрию. PACS: 68.35.bd, 73.30.+y, 68.35.Ct, 68.37.Ps
  1. Н.А. Торхов, В.Г. Божков, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 43(1), 38 (2009)
  2. В.Г. Божков, Н.А. Торхов, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 42(5), 546 (2008)
  3. Н.А. Торхов. Деп. в ВИНИТИ N 32-D2008 от 14.01.2008
  4. Н.М. Коровкина. Автореф. канд. дис. (СПб., Гос. электротехн. ун-т им. В.И. Ульянова (Ленина), 2006 )
  5. В.Е. Панин, П.В. Кузнецов, Е.Е. Дерюгин и др. ФММ, 84(2), 118 (1997)
  6. C.S. Pande, L.E. Richards, N. Louat, B.D. Dempsey, A.J. Schwoeble. Acta Metall. Mater., 35(7), 1633 (1987)
  7. R.H. Dauskardt, F. Haubensak, R.O. Ritchie. Acta Metall. Mater., 38(2), 143 (1990)
  8. D.W. Shi, J. Jiang, C.W. Lung. Phys. Rev. B, 54(24), 17 355 (1996)
  9. В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Н. Новгород. Ин-т физики микроструктур, 2004)
  10. А.В. Анкудинов, В.П. Евтихеев, К.С. Ладутенко, А.Н. Титков, R. Laiho. ФТП, 40(8), 1009 (2006)
  11. B.B. Mandelbrot. In: Statistical Models and Turbulence, ed. by M. Rosenblatt, C. Van Atta. Lecture Notes in Physics 12 (Springer, N.Y., 1972)
  12. B.B. Mandelbrot. J. Fluid Mech., 62, 331 (1974)
  13. Е.Федер. Фракталы (М., Мир, 1991)
  14. Б.Б. Мандельброт. Фрактальная геометрия природы (М., Ин-т компьютерных исследований, 2002)
  15. А.Д. Морозов. Введение в теорию фракталов (М.--Ижевск, НИЦ "Регулярная и хаотическая динамика", 2001)
  16. П.А. Арутюнов, А.Л. Толстихина, В.Н. Демидов. Завод. лаб., 65(9) 27 (1999)
  17. А.В. Панин, А.Р. Шугуров. Поверхность, N 6, 64 (2003)
  18. Н.А. Торохов. Деп. в ВИНИТИ N 334-В2008 от 18.04.08

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.