"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафторида кремния
Сенников П.Г.1,2, Голубев С.В.2, Шашкин В.И.3, Пряхин Д.А.3, Дроздов М.Н.3, Андреев Б.А.3, Дроздов Ю.Н.3, Кузнецов А.С.4, Поль Х.-Й.5
1Институт химии высокочистых веществ Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
4ЗАО "Астор", пос. Кузьмоловский, Ленинградская область, Россия
5VITCON Projectconsult GmbH,, Jena, Germany
Поступила в редакцию: 27 ноября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Сообщается о результатах получения слоев кремния на различных подложках методом плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния-водород. Сняты спектры излучения плазмы в этой системе. Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции и вторичной ионной масс-спектрометрии. Проведено морфологическое изучение поверхности, получены спектры комбинационного рассеяния, спектры пропускания в инфракрасном диапазоне и спектры фотолюминесценции. По фазовому составу слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером блоков когерентного рассеяния от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения процесса и обладают интенсивной фотолюминесценцией при комнатной температуре. PACS: 61.46.Hk, 81.07.Bc
  1. Н.Н. Герасименко, Ю.Н. Пархоменко. Кремний --- материал нанотехнологий (М., Техносфера, 2007)
  2. G.Q. Ding, W.Z. Shen, M.J. Zheng, W.L. Xu, Y.L. He, Q.X. Guo. J. Cryst. Growth, 283, 339 (2005)
  3. M. Morales, Y. Leconte, R. Rizk, D. Chateigner. J. Appl. Phys., 97, 34 307 (2005)
  4. M. Archer, M. Christophersen, P.M. Fauchet. Biomed. Microdevices, 63, 203 (2004)
  5. M. Hiruoka, K. Stato, K. Hirakuri. J. Appl. Phys., 102, 024 308 (2007)
  6. J. De la Torre, G. Bremond, M. Lemiti, G. Guillot, P. Mur, N. Buffet. Thin Sol. Films, 511- 512, 163 (2006)
  7. T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990); M.V. Wolkin, J. Jorne, P.M. Fauchet, G. Allan, C. Delerue. Phys. Rev. Lett., 82, 197 (1999)
  8. S. Furukawa, T. Miyasato. Phys. Rev. B, 38, 5726 (1988)
  9. L.N. Dinh, L.L. Chase, M. Baloch, W.J. Siekhaus, F. Wooten. Phys. Rev. B, 54, 5029 (1996)
  10. M.L. Brongersma, P.G. Kick, A. Polman, K.S. Min, A. Atwater. Appl. Phys. Lett., 76, 351 (2000)
  11. X. Zhao, O. Scoenefeld, J. Kusano, Y. Aoyagi, T. Sugano. Jpn. J. Appl. Phys., 33, L469 (1994)
  12. A.J. Kenyon, P.F. Trwoga, C.W. Pitt. J. Appl. Phys., 79, 9291 (1996)
  13. G. Cicala, P. Capezzuto, G. Bruno. Thin Sol. Films, 337, 59 (1999)
  14. S. Veprek, F.-A. Sarott, M. Rueckschloss. J. Non-Cryst. Sol., 137- 138, 733 (1991)
  15. M. Otobe, T. Kanai, T. Ifuku, H. Yajimi, S. Oda. J. Non-Cryst. Sol., 198- 200, 875 (1996)
  16. E. Edelberg, S. Bergh, R. Naone, M. Hall, E.S. Aydil. J. Appl. Phys., 81, 2410 (1997)
  17. M.-B. Park, N.-H. Cho. Appl. Surf. Sci., 190, 151 (2002)
  18. A.M. Ali, S. Hasegawa. Thin Sol. Films., 437, 68 (2003)
  19. D.W. Hess. Ann. Rev. Mater. Sci., 16, 163 (1986)
  20. P. Capezzuto, G. Bruno. Pure Appl. Chem., 60, 633 (1998)
  21. Y.-L. He, C.-Z. Yin, G.-X. Cheng, L.-C. Wang, X. Liu, G.Y. Hu. J. Appl. Phys., 75, 797 (1994)
  22. G. Bruno, P. Cappezutto, G. Cicala. J. Appl. Phys., 69, 7256 (1991)
  23. A. Madan. In: Topics in Appl. Phys. (Springer, Berlin, 1984) v. 55. p. 245
  24. N. Mutsukura, M. Ohuchi, S. Satoh, Y. Machi. Thin Sol. Films, 109, 47 (1983)
  25. J. Ling-Fai Wang, C.N. Krishnan, J.L. Margrave. J. Molecul. Spectr., 48, 346 (1973)
  26. V. Paillard, P. Puech, M.A. Laguna, R. Carles, B. Kohn, F. Huisken. J. Appl. Phys., 86, 1921 (1999)
  27. M.H. Brodsky. In: Light Scattering in Solids I, ed. by M. Cardona (Berlin, Springer-Verlag, 1983) p. 210
  28. D. Kovalev, H. Heckler, G. Polissi, F. Koch. Phys. Status Solidi B, 215, 871 (1999)
  29. L.T. Canham. J. Phys. Chem. Sol., 47, 363 (1986)
  30. S.M. Hu. J. Appl. Phys., 51, 5945 (1980)
  31. A.A. Langford, M.L. Fleet, A.J. Nelson, S.E. Asher, J.P. Goral, A. Mason. J. Appl. Phys., 65, 5154 (1989)
  32. A.A. Langford, B.P. Nelson, M.L. Fleet, R.S. Crandall. Phys. Rev. B, 42, 7245 (1990).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.