"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Импульсное напыление в низкотемпературной плазме тонких пленок с наноразмерной периодичностью свойств
Сердобинцев А.А.1,2, Веселов А.Г.1, Кирясова О.А.1, Портнов С.А.2, Браташов Д.Н.2
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники Российской академии наук, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 11 ноября 2008 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2009 г.

Исследован процесс формирования пленки в низкотемпературной плазме с импульсным режимом работы. Последовательность импульсов напряжения на распылительной системе содержала серии коротких и длинных импульсов, причем время короткого импульса выбиралось меньше времени установления режима тлеющего разряда. Методом вторично-ионной масс-спектрометрии подтверждено формирование наноразмерной периодичности состава в полученных пленках. Исследована фотолюминесценция синтезированных в импульсном режиме пленок, обнаружена возможность управления характером и интенсивностью люминесценции. PACS: 78.66.Hf, 81.05.Dz, 81.07.Bc, 81.15.Cd
  1. Е.И. Бурылин, А.А. Веселов, А.Г. Веселов, А.С. Джумалиев, С.Н. Иванов, О.А. Кирясова. Письма ЖТФ, 26 (7), 31 (2000)
  2. А.А. Сердобинцев, А.Г. Веселов, О.А. Кирясова. ФТП, 42 (4), 496 (2008)
  3. А.А. Сердобинцев, Е.И. Бурылин, А.Г. Веселов, О.А. Кирясова, А.С. Джумалиев. ЖТФ, 78 (3), 83 (2008)
  4. R.J. Mendelsberg, J. Kennedy, S.M. Durbin, R.J. Reeves. Curr. Appl. Phys., 8 (3-4), 283 (2008)
  5. R. Prabakaran, M. Peres, T. Monteiro, E. Fortunato, R. Martins, I. Ferreira. J. Non-Cryst. Sol., 354 (19-25), 2181 (2008)
  6. Б.А. Князев. Физика и химия слабоионизованного газа (Новосибирск, НГУ, 1977)
  7. Энциклопедия низкотемпературной плазмы, под ред. В.Е. Фортова (М., Наука, 2000)
  8. Л.М. Биберман, В.С. Воробьев, И.Т. Якубов. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы (М., Наука, 1982)
  9. А.А. Сердобинцев, А.Г. Роках, С.В. Стецюра, А.Г. Жуков. ЖТФ, 77 (11), 96 (2007)
  10. И.П. Кузьмина, В.А. Никитенко. Окись цинка. Получение и оптические свойства (М., Наука, 1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.