"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Переход металл-изолятор в эпитаксиальных пленках n-3C-SiC
Лебедев А.А.1, Абрамов П.Л.1, Агринская Н.В.1, Козуб В.И.1, Кузнецов А.Н.1, Лебедев С.П.1, Оганесян Г.А.1, Трегубова А.С.1, Черняев А.В.1, Шамшур Д.В.1, Скворцова М.О.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
Поступила в редакцию: 10 апреля 2008 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.

На подложках гексагонального карбида кремния методом сублимационной эпитаксии выращены пленки n-3C-SiC. Проведено исследование низкотемпературной проводимости и магнетосопротивления полученных пленок в зависимости от уровня легирования и структурного качества. Обнаружено, что при концентрациях нескомпенсированных доноров Nd-Na=<q3·1017 см-3 в слое n-3C-SiC происходит переход металл-диэлектрик. PACS: 71.30.+h, 72.15.Gd, 72.20.Fr
  1. А.А. Лебедев, Н.В. Агринская, П.Л. Абрамов, В.И. Козуб, Г.А. Оганесян, Л.М. Сорокин, А.В. Черняев, Д.В. Шамшур. Письма ЖТФ, 33, 24 (2007)
  2. A.A. Lebedev, P.L. Abramov, N.V. Agrinskaya, V.I. Kozub, A.N. Kuznetsov, S.P. Lebedev, G.A. Oganesyan, L.M. Sorokin, A.V. Chernyaev, D.V. Shamshur. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 19 (2008)
  3. А.А. Лебедев, В.В. Зеленин, П.Л. Абрамов, Е.В. Богданова, С.П. Лебедев, Д.К. Нельсон, Б.С. Разбирин, М.П. Щеглов, А.С. Трегубова, M. Suvajarvi, R. Yakimova. ФТП, 41, 273 (2007)
  4. А.А. Лебедев, В.В. Зеленин, П.Л. Абрамов, С.П. Лебедев, А.Н. Смирнов, Л.М. Сорокин, М.П. Щеглов, R. Yakimova. Письма ЖТФ. 33 (12), 61 (2007)
  5. A.A. Lebedev. Semicond. Sci. Technol., 21, R17 (2006)
  6. А. Розенгрин. В кн.: Карбид кремния, под ред. Г. Хэниша, Р. Роя (М., Мир, 1972) с. 193
  7. B.I. Shklovskii, B.Z. Spivak. In: Hopping Transport in Solids, ed. by M. Pollak, B. Shklovskii (Elsevier, 1991) p. 271
  8. В.Ф. Гантмахер. Электроны в неупорядоченных средах (М., Физматлит, 2003)
  9. N.M. Shmidt. In: Semiconductor Technology (Processing and Novel Fabrication Techiques), ed. by M.E. Levinshtein, M.S. Shur (John Wiley, N.Y., 1997) p. 1
  10. L. Latu-Romain, D. Chaussende, C. Balloud, S. Juillaquet, L. Rapenne, E. Pernot, J. Camassel, M. Pons, R. Madar. Mater. Sci. Forum, 527-529, 99 (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.