Вышедшие номера
Электрические свойства гетероэпитаксиальных слоев HgCdTe n-типа проводимости, модифицированных ионным травлением
Поцяск М.1, Ижнин И.И.2, Дворецкий С.А.3, Михайлов Н.Н.3, Сидоров Ю.Г.3, Варавин В.С.3, Мынбаев К.Д.4, Иванов-Омский В.И.4
1Институт физики Университета Жешув, 35-310 Жешув, Польша
2НИИ материалов НПП "Карат", Львов, Украина
3Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
4Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 марта 2008 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2008 г.

Исследованы электрические свойства модифицированных ионным травлением гетероэпитаксиальных слоев HgCdTe n-типа проводимости, выращенных молекулярно-пучковой эпитаксией, нелегированных и легированных в процессе роста индием. Установлено, что в этих структурах присутствуют исходно нейтральные дефекты с концентрацией ~1017 см-3, которые активируются ионным травлением и образуют донорные центры. Сопоставление полученных экспериментальных результатов с литературными данными показывает, что эти дефекты формируются на стадии роста структур. После остановки ионного травления донорные центры распадаются и через ~5·103 мин концентрация электронов в структурах стабилизируется. Полученные данные позволяют определять количество индия, требуемое для получения воспроизводимой концентрации электронов в n-областях фотодиодных структур на основе HgCdTe, сформированных ионным травлением. PACS: 61.72.Vv, 61.80.Jh, 66.30.Jt, 73.61.Ga