"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Свойства МДП структур на основе варизонного HgCdTe, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии
Войцеховский А.В.1, Несмелов С.Н.1, Дзядух С.М.1, Варавин В.С.2, Дворецкий С.А.2, Михайлов Н.Н.2, Сидоров Ю.Г.2, Васильев В.В.2
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 14 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2008 г.

Экспериментально исследовано влияние приповерхностных варизонных слоев на электрические характеристики МДП структур, созданных на основе гетероэпитаксиального Hg1-xCdxTe, выращенного методом молекулярно-лучевой эпитаксии с двухслойным диэлектриком SiO2/Si3N4 и анодной окисной пленкой. Показано, что в вольт-фарадных характеристиках структур с варизонными слоями наблюдается большая модуляция емкости (глубина и ширина провала), чем для структур без варизонного слоя. Полевые зависимости фотоэдс МДП структур с варизонными слоями у поверхности имели классический вид и характеризовались спадом только в области обогащения. Для структур без варизонного слоя с x=0.22 в области сильной инверсии наблюдался спад зависимости фотоэдс от напряжения, обусловленный ограничением дифференциального сопротивления области пространственного заряда процессами туннельной генерации через глубокие уровни. Исследованы свойства границ раздела HgCdTe--диэлектрик. PACS: 72.40.+w, 73.40.Qv, 72.80.Sk, 73.20.At
  1. А. Рогальский. Инфракрасные детекторы (Новосибирск, Наука, 2003)
  2. В.Н. Овсюк, Г.Л. Курышев, Ю.Г. Сидоров и др. Матричные фотоприемники инфракрасного диапазона (Новосибирск, Наука, 2001)
  3. А.В. Войцеховский, В.Н. Давыдов. Фотоэлектрические МДП-структуры из узкозонных полупроводников (Томск, Радио и связь, 1990)
  4. Е.В. Бузанева. Микроструктуры интегральной электроники (М., Радио и связь, 1990) гл. 3, ч. 3.4, с. 105
  5. В.В. Васильев, Ю.П. Машуков. ФТП, 41 (1), 38 (2007)
  6. А.В. Войцеховский, С.Н. Несмелов, С.М. Дзядух. Изв. вузов. Физика, N 6, 31 (2005)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.