"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы
Сердобинцев А.А.1, Веселов А.Г.1, Кирясова О.А.1
1Институт радиотехники и электроники, Саратовский филиал Российской академии наук, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 31 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.

Изучены оптические и структурные свойства тонких пленок оксида цинка, синтезированных в условиях бомбардировки компонентами низкотемпературной плазмы. Пленки синтезировались на холодной подложке, расположенной на расстоянии от мишени, сравнимом с длиной свободного пробега выбитых из мишени частиц. Определены показатель преломления, оптическая ширина запрещенной зоны и межплоскостное расстояние исследуемых пленок. Обнаружена зависимость этих параметров от длины свободного пробега частиц, определяемой давлением в распылительной камере. Выявлена устойчивая корреляция между параметрами пленок и интенсивностью бомбардировки. Предлагается качественное объяснение, основанное на анализе энергетических условий синтеза пленок. PACS: 55.77.Dq, 81.15.-z, 78.66.-w, 68.55.-a
  1. И.Р. Шеин, В.С. Кийко, Ю.Н. Макурин, М.А. Горбунова, А.Л. Ивановский. ФТТ, 49 (6), 1015 (2007)
  2. М.И. Даунов, Р.К. Арсланов, М.М. Гаджиалиев, Е.В. Кортунова, П.П. Хохлачев, П.П. Шванский. ФТП, 40 (11), 1289 (2006)
  3. А.Х. Абдуев, А.Ш. Асваров, А.К. Ахмедов, В.Г. Барышников, Е.И. Теруков. Письма ЖТФ, 28 (22), 59 (2002)
  4. В.В. Покропивный, М.М. Касумов. Письма ЖТФ, 33 (1), 88 (2007)
  5. U. Helmersson, M. Lattemann, J. Bohlmark, A.P. Ehiasarian, J.T. Gudmundsson. Thin Sol. Films, 513 (1--2), 1 (2006)
  6. Е.И. Бурылин, А.А. Веселов, А.Г. Веселов, А.С. Джумалиев, С.Н. Иванов, О.А. Кирясова. Письма ЖТФ, 26 (7), 31 (2000)
  7. Е.И. Бурылин, А.Г. Веселов, А.С. Джумалиев, В.И. Елманов, С.Н. Истомин, О.А. Кирясова, Т.А. Пушкарева, С.Л. Рябушкин. ЖТФ, 77 (5), 130 (2007)
  8. Г.В. Розенберг. Оптика тонкослойных покрытий (М., Физматгиз, 1958)
  9. И.П. Кузьмина, В.А. Никитенко. Окись цинка. Получение и оптические свойства (М., Наука, 1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.