Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы
Сердобинцев А.А.1, Веселов А.Г.1, Кирясова О.А.1
1Институт радиотехники и электроники, Саратовский филиал Российской академии наук, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 31 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.
Изучены оптические и структурные свойства тонких пленок оксида цинка, синтезированных в условиях бомбардировки компонентами низкотемпературной плазмы. Пленки синтезировались на холодной подложке, расположенной на расстоянии от мишени, сравнимом с длиной свободного пробега выбитых из мишени частиц. Определены показатель преломления, оптическая ширина запрещенной зоны и межплоскостное расстояние исследуемых пленок. Обнаружена зависимость этих параметров от длины свободного пробега частиц, определяемой давлением в распылительной камере. Выявлена устойчивая корреляция между параметрами пленок и интенсивностью бомбардировки. Предлагается качественное объяснение, основанное на анализе энергетических условий синтеза пленок. PACS: 55.77.Dq, 81.15.-z, 78.66.-w, 68.55.-a
- И.Р. Шеин, В.С. Кийко, Ю.Н. Макурин, М.А. Горбунова, А.Л. Ивановский. ФТТ, 49 (6), 1015 (2007)
- М.И. Даунов, Р.К. Арсланов, М.М. Гаджиалиев, Е.В. Кортунова, П.П. Хохлачев, П.П. Шванский. ФТП, 40 (11), 1289 (2006)
- А.Х. Абдуев, А.Ш. Асваров, А.К. Ахмедов, В.Г. Барышников, Е.И. Теруков. Письма ЖТФ, 28 (22), 59 (2002)
- В.В. Покропивный, М.М. Касумов. Письма ЖТФ, 33 (1), 88 (2007)
- U. Helmersson, M. Lattemann, J. Bohlmark, A.P. Ehiasarian, J.T. Gudmundsson. Thin Sol. Films, 513 (1--2), 1 (2006)
- Е.И. Бурылин, А.А. Веселов, А.Г. Веселов, А.С. Джумалиев, С.Н. Иванов, О.А. Кирясова. Письма ЖТФ, 26 (7), 31 (2000)
- Е.И. Бурылин, А.Г. Веселов, А.С. Джумалиев, В.И. Елманов, С.Н. Истомин, О.А. Кирясова, Т.А. Пушкарева, С.Л. Рябушкин. ЖТФ, 77 (5), 130 (2007)
- Г.В. Розенберг. Оптика тонкослойных покрытий (М., Физматгиз, 1958)
- И.П. Кузьмина, В.А. Никитенко. Окись цинка. Получение и оптические свойства (М., Наука, 1984)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук