"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Высокотемпературные матрицы детекторов ядерного излучения на основе 4H-SiC ионно-легированных p+-n-переходов
Калинина Е.В.1, Строкан Н.Б.1, Иванов А.М.1, Ситникова А.А.1, Садохин А.В.1, Азаров А.Ю.2, Коссов В.Г.2, Яфаев Р.Р.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Электрон--Оптроник, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 23 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.

Впервые представлены результаты исследования спектрометрических характеристик в температурном интервале 25-140oC матриц из 4 детекторов, выполненных на основе 4H-SiC ионно-легированных p+-n-переходов. Переходы создавались ионной имплантацией алюминия в эпитаксиальные слои 4H-SiC толщиной =<45 мкм, выращенные методом газотранспортной эпитаксии с концентрацией нескомпенсированных доноров (4-6)·1014 см-3. Структурные особенности ионно-легированных p+-слоев изучались с привлечением вторичной ионной масс-спектрометрии, просвечивающего электронного микроскопа и метода резерфордовского обратного рассеяния в режиме каналирования. Характеристики детекторных матриц определялись при тестировании на воздухе alpha-частицами естественного распада с энергией 3.76 МэВ. Экспериментально подтверждены данные, полученные ранее для аналогичных единичных детекторов, что с увеличением рабочей температуры улучшались основные характеристики детекторных матриц --- эффективность собирания заряда и разрешение по энергии. PACS: 61.82.-d, 61.80.Jh, 87.66.Pm, 85.30.De, 29.40.Wk
  1. C.P. Capera, P. Malinaric, R.B. Campbell, J. Ostroski. IEEE Trans. Nucl. Sci., NS-11 (3), 262 (1964)
  2. Г.Ф. Холуянов, Б.В. Гавриловский. ФТП, 2, 573 (1968)
  3. В.А. Тихомирова, О.П. Федосеева, Г.Ф. Холуянов. ФТП, 6, 957 (1972)
  4. В.А. Тихомирова, О.П. Федосеева, Г.Ф. Холуянов. Атом. энергия, 34, 122 (1973)
  5. А.М. Иванов, Е.В. Калинина, А.О. Константинов, Г.А. Онушкин, Н.Б. Строкан, Г.Ф. Холуянов, A. Hellen. Письма ЖТФ, 30 (14), 1 (2004)
  6. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, Д.В. Давыдов, Г.Н. Виолина. ФТП, 39 (3), 382 (2005)
  7. F.H. Ruddy, A.R. Dulloo, J.G. Seidel, S. Seshardi, L.B. Rowland. IEEE Trans. Nucl. Sci., 45, 536 (1998)
  8. G. Bertuccio, R. Casiraghi, A. Cetronio, C. Lanzieri, F. Nava. Nucl. Instrum. Meth. A, 518, 433 (2004)
  9. E. Kalinina, G. Kholujanov, V. Solov'ev, A. Strel'chuk, A. Zubrilov, V. Kossov, R. Yafaev, A.P. Kovarski, A. Hallen, A. Konstantinov, S. Karlsson, C. Adas, S. Rendakova, V. Dmitriev. Appl. Phys. Lett., 77 (19), 3051 (2000)
  10. Г.Н. Виолина, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, В.Г. Косов, Р.Р. Яфаев, А. Халлен, А.О. Константинов. ФТП, 36 (6), 750 (2002)
  11. F. Moscattelli, A. Scorzoni, A. Poggi, Mara Bruzzi, S. Lagomarsino, S. Mersi, S. Sciortino, M. Lazar, A. Di Plasido, R. Nipoti. Mater. Sci. Forum, 483--485, 1021 (2005)
  12. Е.В. Калинина, В.Г. Коссов, Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Р.Р. Яфаев, Г.Ф. Холуянов. ФТП, 40 (9), 1123 (2006)
  13. E. Kalinina, N. Strokan, A. Ivanov, A. Sadohin, A. Azarov, V. Kossov, R. Yafaev, S. Lashaev. Mater. Sci. Forum, 556--557, 941 (2007)
  14. J.P. Biersack, L.G. Haggmark. Nucl. Instrum. Meth. A, 174, 257 (1980)
  15. А.С. Боровик, В.А. Гражданкин, К.Д. Демаков, П.В. Иванов, Е.В. Калинина, М.Г. Рамм, Г.Ф. Холуянов. ФТП, 20, 1748 (1986)
  16. K. Schmid. Radiat. Eff. 17, 201 (1973)
  17. R. Devanathan, W.J. Weber, F. Gao. J. Appl. Phys., 90, 2303 (2001)
  18. V. Heera, J. Stoemenos, R. Kogler, W. Skorupa. J. Appl. Phys., 77, 2999 (1995)
  19. G. Lulli, E. Albertazzi, M. Bianconi, R. Nipoti. Nucl. Instrum. Meth. B, 148, 573 (1999)
  20. G. Battistig, N.Q. Khanh, P. Petrik, T. Lohner, L. Dobos, B. Pecz, J. Garcia Lopez, Y. Morilla. J. Appl. Phys. 100, 093507 (2006)
  21. V. Heera, H. Reuther, J. Stoemenos, B. Pecz. J. Appl. Phys., 87 (1), 78 (2000)
  22. E. Kalinina, G. Kholujanov, A. Sitnikova, V. Kossov, R. Yafaev, G. Pensl, S. Reshanov, A. Hallen, A. Konstantinov. Mater. Sci. Forum, 433--436, 637 (2003)
  23. W.J. Choyke. Mater. Res. Bull., 4, 141 (1969)
  24. В.К. Еремин, И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 20 (3), 29 (1994)
  25. Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Д.В. Давыдов, А.М. Стрельчук, A. Hallen, А.О. Константинов, В.В. Лучинин, А.Ю. Никифоров. ФТП, 37, 1260 (2003)
  26. А.М. Стрельчук. ФТП, 29, 1190 (1995)
  27. P.A. Ivanov, M.E. Levinshtein, K.G. Irvine, O. Kordina, J.W. Palmour, S.L. Rumyantsev, R. Singh. Electron. Lett., 35, 1382 (1999)
  28. Г.Н. Виолина, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, В.Г. Коссов, Р.Р. Яфаев, А. Халлен, А.О. Константинов. ФТП, 36, 750 (2002).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.