"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
In situ исследование кинетики формирования КТ InSb в матрице InAs(Sb)
Семенов А.Н.1, Люблинская О.Г.1, Соловьев В.А.1, Мельцер Б.Я.1, Иванов С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.

Описаны особенности формирования квантовых точек InSb в матрице InAs без принудительного осаждения InSb методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Исследования кинетики формирования квантовых точек InSb и смачивающего слоя InAsSb проводились in situ с использованием системы регистрации осцилляций интенсивности рефлексов на картине дифракции быстрых электронов. Исследовано влияние температуры подложки, последовательности работы заслонок и введения прерываний роста на свойства массива квантовых точек InSb. Прерывание роста сразу после выдержки поверхности InAs под потоком сурьмы приводит к уменьшению номинальной толщины InSb и улучшает однородность массива квантовых точек. Показано, что в случае осаждения квантовых точек InSb/InAs субмонослойной толщины роль смачивающего слоя выполняет сегрегационный слой InAsSb. Определены длина и коэффициент сегрегации сурьмы, а также их температурные зависимости. PACS: 68.35.Dv, 81.30.Mh, 68.55.-a, 68.55.Hb, 81.15.Hi, 81.07.Ta
  1. F. Hatami, N.N. Ledentsov, M. Grudmann, J. Bohrer, F. Heinrichsdoff, M. Beer, D. Bimberg, S.S. Ruvimov, P. Werner, U. Gosele, J. Heydenreich, U. Richter, S.V. Ivanov, B.Ya. Meltser, P.S. Kop'ev, Z.I. Alferov. Appl. Phys. Lett., 67, 656 (1995)
  2. Motlan, E.M. Goldys. Appl. Phys. Lett., 79, 2976 (2001)
  3. B.R. Bennett, R. Magno, B.V. Shanabrook. Appl. Phys. Lett., 68, 505 (1996)
  4. B.R. Bennett, P.M. Thibado, M.E. Twigg, E.R. Glaser, R. Magno, B.V. Shanabrook, L.J. Whitman. J. Vac. Sci. Technol. B, 14, 2195 (1996)
  5. B.R. Bennett, B.V. Shanabrook, P.M. Thibado, L.J. Whitman, R. Magno. J. Cryst. Growth, 175/176, 888 (1997)
  6. E.R. Glaser, B.R. Bennett, B.V. Shanabrook, R. Magno. Appl. Phys. Lett., 68, 3614 (1996)
  7. А.Ф. Цацульников, Д.А. Бедарев, Б.В. Воловик, С.В. Иванов, М.В. Максимов, Ю.Г. Мусихин, Н.Н. Леденцов, Б.Я. Мельцер, В.А. Соловьев, П.С. Копьев, А.Ю. Чернышов, М.В. Белоусов. ФТП, 33, 973 (1999)
  8. E. Alphandery, R.J. Nicholas, N.J. Mason, S.G. Lyapin, P.C. Klipstein. Phys. Rev. B, 65, 1153 221 (2002)
  9. E. Alphandery, R.J. Nicholas, N.J. Mason, B. Zhang, P. Mock, G.R. Booker. Appl. Phys. Lett., 74, 2041 (1999)
  10. T. Utzmeier, P.A. Postigo, J. Tamayo, R. Garcia, F. Briones. Appl. Phys. Lett., 69, 2674 (1996)
  11. J.C. Ferrer, F. Peiro, A. Cornet, J.R. Morante, T. Uztmeier, G. Armelles, F. Briones. Appl. Phys. Lett., 69, 3887 (1996)
  12. Su-Huai Wei, A. Zunger. Phys. Rev. B, 52, 12 039 (1995)
  13. A. Krier, X.L. Huang, A. Hammiche. Appl. Phys. Lett., 77, 3791 (2000)
  14. A.G. Norman, N.J. Mason, M.J. Fisher, J. Richarrdson, A. Krier, P.J. Walker, G.R. Booker. Inst. Phys. Conf. Ser. IOP Rublisher Ltd., 157, 353 (1997)
  15. S.V. Ivanov, A.N. Semenov, V.A. Solov'ev, O.G. Lyublinskaya, B.Ya. Meltser, D.D. Solnyshkov, L.G. Prokopova, A.A. Sitnikova, A.A. Toropov, P.S. Kop'ev. J. Cryst. Growth, 278, 72 (2005)
  16. V.A. Solov'ev, O.G. Lyublinskaya, B.Ya. Meltser, A.N. Semenov, D.D. Solnyshkov, A.A. Toropov, S.V. Ivanov, P.S. Kop'ev. Appl. Phys. Lett., 86, 011 1091 (2005)
  17. В.А. Соловьев, И.В. Седова, О.Г. Люблинская, А.Н. Семенов, Б.Я. Мельцер, В.С. Сорокин, Я.В. Терентьев, С.В. Иванов. Письма ЖТФ, 31, 37 (2005)
  18. D.E. Eaglesham, M. Cerullo. Phys. Rev. Lett., 64, 1943 (1990)
  19. Г.Э. Цырлин, Н.П. Корнеева, В.Н. Демидов, Н.К. Поляков, В.Н. Петров, Н.Н. Леденцов. ФТП, 31, 1230 (1997)
  20. А.Н. Семенов, В.А. Соловьев, Б.Я. Мельцер, В.С. Сорокин, С.В. Иванов. ФТП, 38, 278 (2004)
  21. B. Lewis, J.C. Anderson. Nucleation and Growth of Thin Films (Academic Press, N. Y., 1978).
  22. I. Prevot, B. Vinter, X. Marcadet, J. Massies. Appl. Phys. Lett., 81, 3362 (2002)
  23. K. Muraki, S. Fukatsu, Y. Shiraki, R. Ito. Appl. Phys. Lett., 61, 557 (1992).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.