"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Использование процессов горения и взрыва наноструктурированного пористого кремния в микросистемных устройствах
Лазарук С.К.1, Долбик А.В.1, Лабунов В.А.1, Борисенко В.Е.1
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 28 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2007 г.

Проведено исследование процессов горения и взрыва в слоях наноструктурированного пористого кремния в зависимости от толщины слоев и времени хранения образцов после операции электрохимического анодирования. Проведена оценка количества водорода, адсорбированного на поверхности пористого кремния после анодной обработки. Количество водорода, аккумулированного в пористом кремнии, составило 4% по массе. Разработаны и изготовлены прототипные микросистемные устройства, использующие энергию исследуемых процессов. Процесс горения пористого кремния может быть использован в качестве источника энергии для кремниевых микроактюаторов, а микровзрыв может быть применен как в самоуничтожающихся кремниевых чипах, так и в технологии изготовления кремниевых интегральных микросхем для разделения кремниевых пластин на отдельные кристаллы. PACS: 61.43.Gt, 82.40.-q, 85.90.+h
  1. D. Kovalev, V.Y. Timoshenko, N. Kunzner, E. Gross, F. Koch. Phys. Rev. Lett., 87, 68 301 (2001)
  2. С.К. Лазарук, А.В. Долбик, П.В. Жагиро, В.А. Лабунов, В.Е. Борисенко. ФТП, 39, 917 (2005)
  3. D. Clement, J. Diener, E. Gross, N. Kunzner, V.Yu. Timoshenko, D. Kovalev. Phys. Status Solidi A, 202, 1357 (2005)
  4. Ю. Варнатц, У. Маас, Р. Диббл. Горение. Физические и химические аспекты, моделирование, эксперименты, образование загрязняющих веществ (М., Физматлит, 2003)
  5. L.T. Canham. Properties of Porous Silicon (London, INSPEC, 1997)
  6. А.А. Ковалевский, А.В. Долбик, С.К. Лазарук, В.А. Лабунов. Докл. НАН РБ, 49, 108 (2005)
  7. J. Abrahamson, J. Dinnis. Nature, 403, 519 (2000)
  8. С.К. Лазарук, А.В. Долбик, В.А. Лабунов, В.Е. Борисенко. Письма ЖЭТФ, 84 (11), 695 (2006)
  9. А.И. Егоров, С.И. Степанов, Г.Д. Шабанов. Успехи физ. наук, 174, 107 (2004)
  10. А.И. Егоров, С.И. Степанов. ЖТФ, 72, 102 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.