Вышедшие номера
Home » Физика и техника полупроводников » Год 2026, выпуск 4 » Статья стр. 214
<<<>>>
Зависимость края поглощения пленок GeOx (0.21≤ x≤1.95) от их состава
Министерство науки и высшего образования России , Государственное задание, FWGW-2025-0023
Министерство науки и высшего образования России , Государственное задание, FZWM-2024– 0011
Лямина В.В.1, Азаров И.А. 1,2, Перевалов Т.В.2, Швец П.В. 3, Володин В.А. 1,2
1Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
3Научно-образовательный центр " Функциональные наноматериалы", Балтийский федеральный университет им. И. Канта, Калининград, Россия
Email: azarov_ivan@mail.ru, petrshvetsv@gmail.com, volodin@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 24 июня 2026 г.
В окончательной редакции: 5 июля 2026 г.
Принята к печати: 21 июля 2026 г.
Выставление онлайн: 7 сентября 2026 г.
PDF версия
Методом импульсного лазерного осаждения были получены пленки GeOx (0.21≤ x≤1.95) на подложках из плавленного кварца. Их состав варьировался с изменением давления кислорода при осаждении и определялся из данных резерфордовского обратного рассеяния. Методом спектроскопии комбинационного рассеяния света получено, что пленки состава (0.21≤ x≤1.48) содержат кластеры аморфного германия. Спектральные значения реальной и мнимой частей показателей преломления и толщины пленок были получены из анализа данных эллипсометрии и спектроскопии пропускания и отражения. Из этих данных была определена зависимость края фундаментального оптического поглощения от стехиометрического параметра x. Экспериментальные данные по краю поглощения были сравнены с данными, полученными из квантово-химических расчетов, рассчитанные значения края поглощения превышают измеренные. Ключевые слова: нестехиометрический оксид германия, спектроскопия пропускания и отражения, коэффициент поглощения, модель Тауца, край фундаментального поглощения, комбинационное рассеяние света.
  1. P. Bhatt, K. Chaudhuri, S. Kothari, A. Nainani, S. Lodha. Appl. Phys. Lett., 103, 172107 (2013). DOI: 10.1063/1.4826142
  2. A.V. Shaposhnikov, T.V. Perevalov, V.A. Gritsenko, C.H. Cheng, A. Chin. Appl. Phys. Lett., 100, 243506 (2012). DOI: 10.1063/1.4729589
  3. V.G. Dyskin, M.U. Dzhanklych. Appl. Solar Energy, 57, 252 (2021). DOI: 10.3103/S0003701X2103004X
  4. D. Lv, M.L. Gordin, R. Yi, T. Xu, J. Song, Y.-B. Jiang, D. Choi, D. Wang. Adv. Funct. Mater., 24 (8), 1059 (2013). DOI: 10.1002/adfm.201301882
  5. A. Choudhury, A. Dalal, S.M. Manohar Dhar Dwivedi, A. Ghosh, N. Halder, S. Das, A. Mondal. Mater. Res. Bull., 142, 111397 (2021). DOI: 10.1016/j.materresbull.2021.111397
  6. A. Chiasera, C. Macchi, S. Mariazzi, S. Valligatla, L. Lunelli, C. Pederzolli, D.N. Rao, A. Somoza, R.S. Brusa, M. Ferrari. Opt. Mater. Express, 3 (9), 1561 (2013). DOI: 10.1364/OME.3.001561
  7. V.F. Zinchenko, V.P. Sobol, I.R. Magunov, O.V. Mozgova. Vopr. Khim. Khim. Tekhnol., 6, 29 (2018). DOI: 10.32434/0321-4095-2018-121-6-29-33
  8. K.S. Eloyan, V.A. Volodin, M. Vergnat. Sci. Lett., 4, 94 (2015)
  9. Ф.А. Назаренков, Н.А. Растрененко. Опт. и спектр., 46 (5), 1013 (1979)
  10. N.R. Murphy, J.T. Grant, L. Sun, J.G. Jones, R. Jakubiak, V. Shutthanandan, C.V. Ramana. Optical Mater., 36, 1177 (2014)
  11. К.Н. Астанкова, Н.А. Кислухин, А.Д. Самусь, А.А. Мацынин, С.В. Комогорцев, И.А. Азаров, В.А. Володин. ФТТ, 68 (2), 269 (2026). DOI: 10.61011/FTT.2026.02.62716.8833
  12. A. Glavic, M. Bjorck. J. Appl. Crystallogr., 55, 1063 (2022). DOI: 10.1107/S1600576722006653
  13. M. Mayer. AIP Conf. Proc., 475, 541 (1999). DOI: 10.1063/1.59188
  14. M. Wihl, M. Cardona, J. Tauc. J. Non-Cryst. Sol., 8-10, 172 (1972). DOI: 10.1016/0022-3093(72)90132-9
  15. К.Н. Астанкова, В.А. Володин, И.А. Азаров. ФТП, 54 (12), 1296 (2020). DOI: 10.21883/FTP.2020.12.50228.9508a
  16. J. Schroeder, W. Wu, J.L. Apkarian, M. Lee, L.-G. Hwa, C.T. Moynihan. J. Non-Cryst. Sol., 349, 88 (2004). DOI: 10.1016/j.jnoncrysol.2004.08.265
  17. G. Hamoud, A. Samus, A. Matsynin, S. Komogortsev, V. Zhandun, I. Prosvirin, K. Astankova, I. Azarov, P. Geydt, I. Milekhin, V. Volodin. Thin Sol. Films, 836, 140869 (2026). DOI: 10.1016/j.tsf.2026.140869
  18. J. Tauc. Mater. Res. Bull., 3, 37 (1968). DOI: 10.1016/0025-5408(68)90023-8
  19. T.V. Perevalov, V.A. Volodin, G.N. Kamaev, G.K. Krivyakin, V.A. Gritsenko, I.P. Prosvirin. J. Non-Cryst. Sol., 529, 119796 (2020). DOI: 10.1016/j.jnoncrysol.2019.119796

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme