Исследовано влияние статического и динамического отжига на электрические и микроструктурные свойства пленок оксид индия-олова, осажденных в инертной и кислородсодержащей атмосферах. Установлено, что наличие кислорода в процессе осаждения приводит к наличию нерастворимой фазы SnO, приводящей к металлическому типу проводимости при низких температурах и резкому переходу к полупроводниковому поведению после отжига. Показано, что присутствие кислорода при осаждении формирует устойчивые оксидные кластеры олова, которые не растворяются при 300 ^oC и определяют немонотонный характер электропроводности. Ключевые слова: тонкие пленки, фазово-структурный переход, поверхности, термический отжиг.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.