Вышедшие номера
Одно- и двухстадийный рост GaInP-наноструктур на подложках кремния из паровой фазы
Власов А.С. 1, Карлина Л.Б.1, Левин Р.В.1, Лысак В.В.1, Учаев М.В.1, Сошников И.П.1,2,3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: lev.vpegroup@mail.ioffe.ru, vlasov@scell.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 31 марта 2026 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2026 г.
Принята к печати: 28 мая 2026 г.
Выставление онлайн: 30 июня 2026 г.

Представлены исследования одно- и двухстадийного роста GaInP-наноструктур на подложках кремния ориентации (111) из насыщенных паров фосфора и индия в квазизамкнутом объеме. Рост осуществлялся путем последовательного формирования первичного нуклеационного слоя, состоящего из наноструктур твердого раствора GaInP на подложке кремния с последующим дополнительным напылением (осаждением) галлия. Исследования колебательных свойств и спектров фотолюминесценции показали, что вторая стадия процесса с использованием дополнительного напыления металлического слоя катализатора и различных источников позволяет получать структуры с составом, отличным от состава нуклеационного слоя. Измерения карт фотолюминесценции показали, что использование двухстадийного роста дает существенное улучшение однородности состава наноструктур по сравнению с одностадийным подходом, а также демонстрирует взаимосвязь морфологии и состава первичного и вторичного слоев. Ключевые слова: наноструктуры GaInP, самокаталитический рост из паровой фазы, AIIIBV на Si.
  1. E. Ahmad, Md.R. Karim, Sh.B. Hafiz, C.L. Reynolds, Y. Liu, Sh. Iyer. Sci. Rep., 7 (1), 10111 (2017). DOI: 10.1038/s41598-017-09280-4
  2. D. Tamsaout, E. Cambril, L. Travers, A. Madouri, N. Gogneau. Nanotechnology, 36 (13), 135604 (2025). DOI: 10.1088/1361-6528/adb3ad
  3. Y. Berdnikov, V.V. Fedorov, N.V. Sibirev, A.D. Bolshakov, S.V. Fedina, G.A. Sapunov, L.N. Dvoretckaia, I.S. Mukhin. 2022 Int. Conf. Laser Optics (ICLO) (2022) р. 1. DOI: 10.1109/ICLO54117.2022.9840319
  4. R.R. Reznik, A.S. Andreeva, K.P. Kotlyar, A.I. Khrebtov, I.V. Ilkiv, V.O. Gridchin, I.P. Soshnikov, A.V. Syuy, A. Kuznetsov, A.D. Bolshakov, G.E. Cirlin, V.G. Dubrovskii. Nanotechnology, 36 (23), 235601 (2025). DOI: 10.1088/1361-6528/add9aa
  5. Л.Б. Карлина, А.С. Власов, Р.В. Левин, И.П. Сошников. ФТП, 59 (5), 265 (2025). DOI: https://doi.org/10.61011/FTP.2025.05.61470.7955
  6. V.G. Dubrovskii, S. Boried, T. Dagnetd, L. Reynesd, Y. Andrec, E. Gilc. J. Cryst. Growth, 459, 194 (2017). DOI:10.22204/2410-4639-2024-123-124-03-04-26-37
  7. S. Breuer, M. Hilse, L. Geelhaar, H. Riechert. J. Cryst. Growth, 323 (1), 311 (2011). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2010.11.071
  8. H. Gao, Q. Sun, W. Sun, H.H. Tan, Ch. Jagadish, J. Zou. Nano Lett., 19, 8262 (2019). DOI: 10.1021/acs.nanolett.9b03835

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.