Одно- и двухстадийный рост GaInP-наноструктур на подложках кремния из паровой фазы
Власов А.С.
1, Карлина Л.Б.1, Левин Р.В.1, Лысак В.В.1, Учаев М.В.1, Сошников И.П.1,2,3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Email: lev.vpegroup@mail.ioffe.ru, vlasov@scell.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 31 марта 2026 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2026 г.
Принята к печати: 28 мая 2026 г.
Выставление онлайн: 30 июня 2026 г.
Представлены исследования одно- и двухстадийного роста GaInP-наноструктур на подложках кремния ориентации (111) из насыщенных паров фосфора и индия в квазизамкнутом объеме. Рост осуществлялся путем последовательного формирования первичного нуклеационного слоя, состоящего из наноструктур твердого раствора GaInP на подложке кремния с последующим дополнительным напылением (осаждением) галлия. Исследования колебательных свойств и спектров фотолюминесценции показали, что вторая стадия процесса с использованием дополнительного напыления металлического слоя катализатора и различных источников позволяет получать структуры с составом, отличным от состава нуклеационного слоя. Измерения карт фотолюминесценции показали, что использование двухстадийного роста дает существенное улучшение однородности состава наноструктур по сравнению с одностадийным подходом, а также демонстрирует взаимосвязь морфологии и состава первичного и вторичного слоев. Ключевые слова: наноструктуры GaInP, самокаталитический рост из паровой фазы, AIIIBV на Si.
- E. Ahmad, Md.R. Karim, Sh.B. Hafiz, C.L. Reynolds, Y. Liu, Sh. Iyer. Sci. Rep., 7 (1), 10111 (2017). DOI: 10.1038/s41598-017-09280-4
- D. Tamsaout, E. Cambril, L. Travers, A. Madouri, N. Gogneau. Nanotechnology, 36 (13), 135604 (2025). DOI: 10.1088/1361-6528/adb3ad
- Y. Berdnikov, V.V. Fedorov, N.V. Sibirev, A.D. Bolshakov, S.V. Fedina, G.A. Sapunov, L.N. Dvoretckaia, I.S. Mukhin. 2022 Int. Conf. Laser Optics (ICLO) (2022) р. 1. DOI: 10.1109/ICLO54117.2022.9840319
- R.R. Reznik, A.S. Andreeva, K.P. Kotlyar, A.I. Khrebtov, I.V. Ilkiv, V.O. Gridchin, I.P. Soshnikov, A.V. Syuy, A. Kuznetsov, A.D. Bolshakov, G.E. Cirlin, V.G. Dubrovskii. Nanotechnology, 36 (23), 235601 (2025). DOI: 10.1088/1361-6528/add9aa
- Л.Б. Карлина, А.С. Власов, Р.В. Левин, И.П. Сошников. ФТП, 59 (5), 265 (2025). DOI: https://doi.org/10.61011/FTP.2025.05.61470.7955
- V.G. Dubrovskii, S. Boried, T. Dagnetd, L. Reynesd, Y. Andrec, E. Gilc. J. Cryst. Growth, 459, 194 (2017). DOI:10.22204/2410-4639-2024-123-124-03-04-26-37
- S. Breuer, M. Hilse, L. Geelhaar, H. Riechert. J. Cryst. Growth, 323 (1), 311 (2011). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2010.11.071
- H. Gao, Q. Sun, W. Sun, H.H. Tan, Ch. Jagadish, J. Zou. Nano Lett., 19, 8262 (2019). DOI: 10.1021/acs.nanolett.9b03835
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.