Simulation of e-beam penetration through multilayer structures
Borisov S.S.1, Zaitsev S.I.2
1M.V. Lomonosov Moscow State University, Physical Department, Moscow, Russia
2Institute of Problems of Microelectronic Technology, Chernogolovka, Russia
Поступила в редакцию: 16 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2007 г.
Using developed simulation in discrete loss approximation Monte-Carlo program we carried out analysis of secondary electrons energy spectra of multilayered structures. The possibility of determination of subsurface layers parameters using energy spectra of secondary electrons is shown as far as a way to avoid time consuming Monte-Carlo simulations for some cases. PACS: 79.20.Hx, 68.37.Nq
- S.S. Borisov, E.A. Grachev, S.I. Zaitsev. Прикл. физика, 3, 65 (2004)
- S.I. Zaitsev. Extended doctoral thesis abstract, 2000 (Chernogolovka)
- L. Landau. J. Phys., 8, 201 (1944)
- D. Berger. Techn. Universitat, Berlin (2000)
- E.I. Rau, V.N.E. Robinson. Scanning, 18, 556 (1996)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук