"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние кислорода на сегрегационное перераспределение редкоземельных элементов в аморфизованных имплантацией слоях кремния
Александров О.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 ноября 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2006 г.

Развита модель сегрегационного перераспределения примесей редкоземельных элементов при твердофазной эпитаксиальной кристаллизации слоев кремния, аморфизованных имплантацией. В основе модели лежит образование на межфазной границе со стороны a-Si переходного слоя с высокой подвижностью атомов, ширина которого определяется диффузионной длиной вакансий в a-Si. В рамках модели проанализированы концентрационные профили Er в кремнии при его соимплантации с кислородом. Показано, что при больших дозах имплантации редкоземельных ионов необходимо учитывать образование кластеров Rm (m=4), где R --- атом редкоземельного элемента, а при соимплантации ионов кислорода --- образование комплексов ROn (n=3-6), влияющих на ширину переходного слоя и коэффициент сегрегации. PACS: 61.72.Cc, 61.72.Ji, 61.72.Tt, 66.30.Jt, 64.75+g
  1. D. Mountonnet, H. L'Haridon, P.N. Favennec, M. Salvi, M. Gauneau, F.A. D'Avitaya, J. Chroboczek. Mater. Sci. Eng. B, 4, (1/4), 75 (1989)
  2. J.S. Custer, A. Polman, H.M. Pinxtern. J. Appl. Phys., 75 (6), 2809 (1994)
  3. J.F. Suyver, P.G. Kik, T. Kimura, A. Polman, G. Franzo, S. Coffa. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res., B148, 497 (1999)
  4. О.В. Александров, Ю.А. Николаев, Н.А. Соболев. ФТП, 34 (1), 3 (2000)
  5. О.В. Александров, Ю.А. Николаев, Н.А. Соболев, R. Asomaza, Yu. Kundriavtsev, A. Villegas, A. Godines. ФТП, 37 (12), 1409 (2003)
  6. О.В. Александров, Ю.А. Николаев, Н.А. Соболев. ФТП, 33 (1), 114 (1999)
  7. О.В. Александров, Ю.А. Николаев, Н.А. Соболев. ФТП, 32 (12), 1420 (1998)
  8. Д.Э. Назыров, Г.С. Куликов, Р.Ш. Малкович. ФТП, 25 (9), 1653 (1991)
  9. F.J.G. Ren, J. Michel, Q. Sun-Paduano, B. Zheng, H. Kitagawa, D.C. Jacobson. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 301, 87 (1993)
  10. В.Ф. Мастеров, Ф.С. Насрединов, П.П. Серегин, Е.И. Теруков, М.М. Мездрогина. ФТП, 32 (6), 708 (1998)
  11. A. Terrasi, G. Franzo, S. Coffa, F. Priolo, F. D'Acapito, S. Mobilio. Appl. Phys. Lett., 70 (13), 1712 (1997)
  12. J.D. Carrey, R.C. Barklie, J.F. Donegan, F. Priolo, G. Franzo, S. Coffa. Phys. Rev. B, 59 (4), 2773 (1999)
  13. M. Hashimoto, A. Yanaza, H. Harima, H. Katayama-Yoshida. Physica B, 308--310, 378 (2001)
  14. О.В. Александров. Конденсированные среды и межфазные границы, 1 (4), 283 (1999)
  15. S. Roorda, J.S. Custer, W.C. Sinke, J.M. Poate, D.C. Jacobson, A. Polman, F. Spaepen. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res., B59/60, 344 (1991)
  16. И.А. Аброян, В.С. Беляков, А.И. Титов. Изв. РАН. Сер. физ., 58 (10), 59 (1994)
  17. A.I. Titov, S.O. Kucheyev. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res., B168, 375 (2000)
  18. О.В. Александров, А.О. Захарьин, Н.А. Соболев. ФТП, 39 (7), 776 (2005)
  19. Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Ю.А. Николаев, В.И. Вдовин. ФТП, 33 (6), 660 (1999)
  20. E. Chason, S.T. Picraux, J.M. Poate, J.O. Borland, M.I. Current, T. Diaz de la Rubia, D.J. Eaglesham, O.W. Holland, M.E. Law, C.W. Magee, J.W. Mayer, J. Melngailis, A.F. Tasch. J. Appl. Phys., 81 (10), 6513 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.