"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние смещения электронно-дырочного равновесия на процесс диффузии переходных металлов в GaAs
Хлудков С.С.1
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 6 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2006 г.

Исследована диффузия примесей переходных элементов Fe, Cu и Cr в сильно легированном p+-, n+- и собственном (при температуре диффузии) GaAs. Использована методика, по которой диффузия примеси осуществляется в структуры на основе GaAs с сильно легированными слоями (p+-n или n+-n). Показано, что коэффициент диффузии примеси в p+-GaAs существенно выше, а в n+-GaAs ниже, чем в i-GaAs. Полученные результаты обсуждаются на основе представлений о влиянии смещения электронно-дырочного равновесия в полупроводнике на процесс диффузии примесей, мигрирующих по диссоциативному механизму. Определена концентрация межузельной компоненты примесей Fe, Cu и Cr в GaAs при температуре диффузии. PACS: 68.35.Fx, 66.30.Jt
  1. С.С. Хлудков. Вестн. Томск. гос. ун-та. Сер. Физика, N 285, 84 (2005)
  2. О.П. Толбанов. Вестн. Томск. гос. ун-та. Сер. Физика, N 285, 155 (2005)
  3. С.С. Хлудков, Н.В. Чалдышева. Изв. вузов. Физика, 25 (5), 115 (1982)
  4. A.S. Grove, O. Leistiko, Jr., C.T. Sah. J. Phys. Chem. Sol., 25, 985 (1964)
  5. С.С. Хлудков, О.Б. Корецкая, А.В. Тяжев. ФТП, 38 (3), 274 (2004)
  6. Э.М. Омельяновский, В.И. Фистуль. Примеси переходных металлов в полупроводниках (М., Металлургия, 1983)
  7. В.Ф. Мастеров. Изв. вузов. Физика, 26 (10), 45 (1983)
  8. R.H. Hall, J.H. Raccete. J. Appl. Phys., 35, 379 (1964)
  9. Б.И. Болтакс, Г.С. Куликов, И.Н. Никулина, Ф.С. Шишияну. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 11 (2), 348 (1975)
  10. В.Б. Освенский, Т.Г. Югова. Особенности поведения меди в арсениде галлия. Обзор литературы (М., Гиредмет, 1970)
  11. W. Shockley, J.L. Moll. Phys. Rev., 119, 1480 (1960)
  12. Г.Л. Приходько, Л.К. Тарасова, С.С. Хлудков. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 14, 1378 (1978)
  13. Г.А. Бабченко, А.И. Гордиенко, Г.А. Захарова, С.В. Малянов, С.С. Хлудков. Изв. вузов. Физика, 28 (4), 97 (1985)
  14. И.В. Каменская, М.А. Кривов, В.С. Морозов, Э.Н. Мельченко, М.А. Никифорова, Е.А. Попова, С.С. Хлудков. Изв. вузов. Физика, 22 (7), 1979 (93)
  15. М.Г. Мильвидский, В.Б. Освенский, Т.Г. Югова. ФТТ, 11 (11), 3276 (1969)
  16. С.С. Хлудков, Л.К. Тарасова. ФТТ, 16 (5), 1319 (1974)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.