Вышедшие номера
Влияние состояния водорода в решетке на эффективность введения донорных центров в кислородсодержащем кремнии
Болотов В.В.1, Камаев Г.Н.2, Носков А.В.1, Черняев С.А.2, Росликов В.Е.1
1Омский филиал Института физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 6 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 20 января 2006 г.

Проведены исследования эффективности введения донорных центров в кислородсодержащем Si при термообработках при 450oC после предварительной гидрогенизации в плазме водорода и облучения gamma-квантами 60Co. Показано, что максимальная скорость введения донорных центров наблюдается в образцах, содержащих водород в атомарной форме. Облучение Si gamma-квантами 60Co с предварительно гидрогенизированным в плазме водорода слоем приводит к высвобождению атомарного водорода из связанных состояний. Это повышает скорость введения донорных центров при последующих термообработках при 450oC. PACS: 81.40.Ef, 81.40.-g, 61.80.Ed, 73.30.+y