"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Измерения длин диффузии микрометрового диапазона техникой ядерной спектрометрии
Строкан Н.Б.1, Иванов А.М.1, Лебедев А.А.1, Syvajarvi M.2, Yakimova R.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Университет Линчепинга, S-581 83 Линчепинг, Швеция
Поступила в редакцию: 20 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.

Предлагается методика определения значений диффузионных длин в диапазоне 0.5-50 мкм и соответственно минимальных величин времени жизни носителей заряда порядка наносекунд. Используется диодная структура в режиме обратного смещения. В область базы диода инжектируется калиброванный по величине неравновесный заряд. Инжекция осуществляется alpha-частицами естественного распада в режиме одиночного счета. Техникой ядерной спектрометрии измеряется величина заряда, продиффундировавшего в базе к границе области электрического поля. Проведен расчет возникающих в ходе диффузии потерь заряда в зависимости от длины проникновения трека частицы за область поля. Полученные функции имеют степенной характер и позволяют в свою очередь связать значения длины диффузии с величиной показателя степени и численного множителя, описывающего потери заряда. Эксперимент поставлен на слабо легированных эпитаксиальных пленках 4H-SiC.
  1. А.И. Курносов. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (М., Высш. шк., 1980) с. 327
  2. Ю.Р. Носов. Физические основы работы полупроводникового диода в импульсном режиме (М., Наука, 1968) с. 263
  3. В.В. Тигатов, П.А. Гнатюк. ФТП, 39, 378 (2005)
  4. B. Lax, S. Neustadter. J. Appl. Phys., 25 (9), 1148 (1954)
  5. И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан. ФТП, 30, 302 (1996)
  6. Ion implantation. Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Academic Press. Inc., 1984)
  7. Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, Д.В. Давыдов, А.М. Стрельчук, А.О. Константинов, A. Hallen, А.Ю. Никифоров, В.А. Скуратов, K. Havancsak. ФТП, 38, 1223 (2004)
  8. В.К. Еремин, Е.М. Вербицкая, Н.Б. Строкан, В.Л. Суханов, А.М. Маляренко. ЖТФ, 56, 1987 (1986)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.