Формирование самоорганизованных квантовых точек в ходе осаждения GaSbP на поверхность AlP
Министерство образования и науки Российской Федераци, Государственное задание, ГЗ 242-2022-0008
Абрамкин Д.С.1,2, Петрушков М.О.1, Богомолов Д.Б.1, Емельянов Е.А.1, Путято М.А.1, Преображенский В.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: dalamber.07@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 20 июня 2024 г.
Принята к печати: 20 июня 2024 г.
Выставление онлайн: 24 июля 2024 г.
Методом дифракции быстрых электронов на отражение исследован процесс формирования самоорганизованных массивов GaSbP-квантовых точек на поверхности AlP(100) из потоков молекул Sb4, P2 и атомов Ga. Изучены зависимости критической толщины зарождения квантовых точек (Deff), величины упругих деформаций в квантовых точках и состава твердого раствора GaSbP, из которого формируются квантовые точки, от температуры подложки (TS) и соотношения давлений в потоках молекул Sb4 и P2 (P(Sb_4):P(P_2)). Обнаружено, что в широких диапазонах значений TS и P(Sb_4):P(P_2) (380-460oС и 0.07-27 соответственно) формируются ненапряженные GaSbP/Al-квантовые точки. Ключевые слова: квантовые точки, молекулярно-лучевая эпитаксия, твердый раствор, пластическая релаксация деформаций.
- Z.M. Wang. Self Assembled Quantum Dots (Springer, N.Y., 2008)
- A. Marent, M. Geller, A. Schliwa, D. Feise, K. Potschke, D. Bimberg, N. Akcay, N. Oncan. Appl. Phys. Lett., 91, 242109 (2007)
- A. Marent, T. Nowozin, J. Gelze, F. Luckert, D. Bimberg. Appl. Phys. Lett., 95, 242114 (2009)
- D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45, 3023 (1974)
- L. Bonato, I.F. Arikan, L. Desplanque, C. Coinon, X. Wallart, Y. Wang, P. Ruterana, D. Bimberg. Phys. Status Solidi B, 253, 1869 (2016)
- A. Marent, T. Nowozin, M. Geller, D. Bimberg. Semicond. Sci. Technol., 26, 014026 (2011)
- M.M. Geller, A. Marent, E. Stock, D. Bimberg, V.I. Zubkov, I.S. Shulgunova, A.V. Solomonov. Appl. Phys. Lett., 89, 232105 (2006)
- T. Nowozin, A. Marent, L. Bonato, A. Schliwa, D. Bimberg, E.P. Smakman, J.K. Garleff, P.M. Koenraad, R.J. Young, M. Hayne. Phys. Rev. B, 86, 035305 (2012)
- M. Hayne, R.J. Young, E.P. Smakman, T. Nowozin, P. Hodgson, J.K. Garleff, P. Rambabu, P.M. Koenraad, A. Marent, L. Bonato, A. Schliwa, D. Bimberg. J. Phys. D: Appl. Phys., 46, 264001 (2013)
- M. Baik, J.-h. Kyhm, H.-K. Kang, K.-S. Jeong, J.S. Kim, M.-H. Cho, J.D. Song. Sci. Rep., 11, 7699 (2021)
- T. Nowozin, L. Bonato, A. Hogner, A. Wiengarten, D. Bimberg, W.-H. Lin, S.-Y. Lin, C.J. Reyner, B.L. Liang, D.L. Huffaker. Appl. Phys. Lett., 102, 052115 (2013)
- Y. Shoji, R. Tamaki, Y. Okada. Nanomaterials, 11, 344 (2021)
- T.S. Shamirzaev, D.S. Abramkin, A.K. Gutakovskii, M.A. Putyato. JETP Lett., 95, 534 (2012)
- D.S. Abramkin, K.M. Rumynin, A.K. Bakarov, D.A. Kolotovkina, A.K. Gutakovskii, T.S. Shamirzaev. JETP Lett., 103, 692 (2016)
- Д.С. Абрамкин, А.К. Бакаров, М.А. Путято, Е.А. Емельянов, Д.А. Колотовкина, А.К. Гутаковский, Т.С. Шамирзаев. ФТП, 51, 1282 (2017)
- Д.С. Абрамкин, А.К. Бакаров, А.К. Гутаковский, Т.С. Шамирзаев. ФТП, 52, 1280 (2018)
- T.S. Shamirzaev, D.S. Abramkin, A.K. Gutakovskii, M.A. Putyato. Appl. Phys. Lett., 97, 023108 (2010)
- D.S. Abramkin, M.A. Putyato, S.A. Budennyy, A.K. Gutakovskii, B.R. Semyagin, V.V. Preobrazhenskii, O.F. Kolomys, V.V. Strelchuk, T.S. Shamirzaev. J. Appl. Phys., 112, 083713 (2012)
- G. Stracke, A. Glacki, T. Nowozin, L. Bonato, S. Rodt, C. Prohl, A. Lenz, H. Eisele, A. Schliwa, A. Strittmatter, U.W. Pohl, D. Bimberg. Appl. Phys. Lett., 101, 223110 (2012)
- L. Bonato, E.M. Sala, G. Stracke, T. Nowozin, A. Strittmatter, M.N. Ajour, K. Daqrouq, D. Bimberg. Appl. Phys. Lett., 106, 042102 (2015)
- Д.С. Абрамкин, М.О. Петрушков, Е.А. Емельянов, А.В. Ненашев, М.Ю. Есин, А.В. Васев, М.А. Путято, Д.Б. Богомолов, А.К. Гутаковский, В.В. Преображенский. ФТП, 55, 139 (2021)
- Д.С. Абрамкин, М.А. Путято, А.К. Гутаковский, Б.Р. Семягин, В.В. Преображенский, Т.С. Шамирзаев. ФТП, 46, 1571 (2012)
- D.S. Abramkin, V.T. Shamirzaev, M.A. Putyato, A.K. Gutakovskii, T.S. Shamirzaev. JETP Lett., 99, 76 (2014)
- L. Bonato, I.F. Arikan, L. Desplanque, C. Coinon, X. Wallart, Y. Wang, P. Ruterana, D. Bimberg. Phys. Status Solidi B, 253, 1869 (2016)
- E.M. Sala, G. Stracke, S. Selve, T. Niermann, M. Lehmann, S. Schlichting, F. Nippert, G. Callsen, A. Strittmatter, D. Bimberg. Appl. Phys. Lett., 109, 102102 (2016)
- E.M. Sala, I.F. Arikan, L. Bonato, F. Bertram, P. Veit, J. Christen, A. Strittmatter, D. Bimberg. Phys. Status Solidi B, 225, 1800182 (2018)
- D.S. Abramkin, V.V. Atuchin. Nanomater., 12, 3794 (2022)
- D.S. Abramkin, M.O. Petrushkov, D.B. Bogomolov, E.A. Emelyanov, M.Yu. Yesin, A.V. Vasev, A.A. Bloshkin, E.A. Koptev, M.A. Putyato, V.V. Atuchin, V.V. Preobrazhenskii. Nanomater., 13, 910 (2023)
- I. Vurgaftman, J.R. Meyer, L.R. Ram-Mohan. J. Appl. Phys., 89, 5815 (2001)
- T. Nowozin, D. Bimberg, M.N. Ajour, M. Awedh. J. Nanomater., 2013, 215613 (2013)
- M. Grundmann, O. Stier, D. Bimberg. Phys. Rev. B, 52, 11969 (1995)
- Д.С. Абрамкин, М.О. Петрушков, М.А. Путято, Б.Р. Семягин, Е.А. Емельянов, В.В. Преображенский, А.К. Гутаковский, Т.С. Шамирзаев. ФТП, 53, 1167 (2019)
- M.O. Petrushkov, D.S. Abramkin, E.A. Emelyanov, M.A. Putyato, O.S. Komkov, D.D. Firsov, A.V. Vasev, M.Yu. Yesin, A.K. Bakarov, I.D. Loshkarev, A.K. Gutakovskii, V.V. Atuchin, V.V. Preobrazhenskii. Nanomater., 12, 4449 (2022)
- Д.С. Абрамкин, М.О. Петрушков, Е.А. Емельянов, М.А. Путято, Б.Р. Семягин, А.В. Васев, М.Ю. Есин, И.Д. Лошкарев, А.К. Гутаковский, В.В. Преображенский, Т.С. Шамирзаев. Автометрия, 54, 85 (2018)
- М.О. Петрушков, Д.С. Абрамкин, Е.А. Емельянов, М.А. Путято, А.В. Васев, И.Д. Лошкарев, М.Ю. Есин, О.С. Комков, Д.Д. Фирсов, В.В. Преображенский. ФТП, 54, 1289 (2020)
- М.О. Петрушков, М.А. Путято, А.В. Васев, Д.С. Абрамкин, Е.А. Емельянов, И.Д. Лошкарев, О.С. Комков, Д.Д. Фирсов, В.В. Преображенский. ФТП, 56, 980 (2022)
- Y. Oishi, M. Nagano, T. Ohnuma. J. Cryst. Growth, 221, 271 (2001)
- K. Hestroffer, D. Sperlich, Sh. Dadgostar, Ch. Golz, J. Krumland, W.T. Masselink, F. Hatami. Appl. Phys. Lett., 112, 192107 (2018)
- C.G. Van de Walle. Phys. Rev. B, 39, 1871 (1989)
- V. Emberger, F. Hatami, W.T. Masselink, S. Peters. Appl. Phys. Lett., 103, 031101 (2013)
- H. Asahi, K. Asami, T. Watanabe, S.J. Yu, T. Kaneko, Sh. Emura, Sh. Gonda. Appl. Phys. Lett., 58, 1407 (1991)
- M.P. Semtsiv, U. Muller, W.T. Masselink, N. Georgiev, T. Dekorsy, M. Helm. Appl. Phys. Lett., 89, 184102 (2006)
- H. Shimomura, T. Anan, S. Sugou. Seventh International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (Hokkaido, Japan, 1995) p. 801
- D. Bimberg, M. Grundmann, N.N. Ledentsov. Quantum Dot Heterostructures (Wiley, 1999).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.