"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Поведение структурных дефектов и проводимости в легированных бором пленках nc-SiC : H, выращенных методом photo-CVD
Шевалеевский О.И.1, Myong S.Y.2, Lim K.S.2, Miyajima S.3, Konagai M.3
1Институт биохимической физики Российской академии наук, Москва, Россия
2Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon 305-701, South Korea
3Tokyo Institute of Technology, 2-12-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo 15, Japan
Поступила в редакцию: 21 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.

Исследовано поведение парамагнитных DB-дефектов и темновой проводимости (sigmad) в легированных бором пленках нанокристаллического гидрированного кремния с добавками углерода nc-SiC : H, выращенных методом photo-CVD. Показано, что увеличение уровня легирования приводит к фазовому переходу от кристаллической структуры к аморфной. Проводимость растет с легированием до sigmad=5.5·10-2 Ом-1·см-1, однако после фазового перехода понижается. Концентрация DB-дефектов с легированием монотонно убывает от 1019 см-3 в кристаллической до 9·1017 см-3 в аморфной структуре.
  1. S.Y. Myong, S.S. Kim, K.S. Lim. J. Appl. Phys., 95, 1525 (2004)
  2. Y. Hamakawa, H. Okamoto, Y. Tawada. Int. J. Solar Energy, 1, 125 (1982)
  3. О.И. Шевалеевский, А.А. Цветков, Л.Л. Ларина, S.Y. Myong, K.S. Lim. ФТП, 38, 547 (2004)
  4. O. Chevaleevski, S.Y. Myong, K.S. Lim. Sol. St. Commun., 128, 355 (2003)
  5. А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП, 36, 41 (2002)
  6. H.K. Lee, S.Y. Myong, K.S. Lim, E. Yoon. J. Non-Cryst. Sol., 316, 297 (2003)
  7. F. Finger, J. Muller, C. Malten, R. Carius, H. Wagner. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 511 (2000)
  8. М.М. Мездрогина, А.В. Пацекин. ФТП, 34, 354 (2000)
  9. S.Y. Myong, T.H. Kim, K.S. Lim, K.H. Kim, B.T. Ahn, S. Miyajima, M. Konagai. Sol. Energy Mater. Solar. Cells, 81, 485 (2004)
  10. C. Boehme, K. Lips. J. Non-Cryst. Sol., 338--340, 434 (2004)
  11. M. Stutzmann, M.S. Brandt, M.W. Bayerl. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 1 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.