"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Пороговый характер формирования наноразмерных островков в системе Ge/Si (100) в присутствии сурьмы
Цырлин Г.Э.1, Дубровский В.Г.2, Тонких А.А.1, Сибирев Н.В.1, Устинов В.М.2, Werner P.3
1Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Max-Planck Institut fur Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, Halle, Germany
Поступила в редакцию: 14 сентября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2005 г.

Методом атомно-силовой микроскопии проведено исследование поведения массива островков Ge, сформированных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на поверхности Si (100), в зависимости от потока сурьмы к поверхности. Показано, что при увеличении потока Sb до определенного уровня происходит увеличение поверхностной плотности островков, а по достижении его подавление нуклеации островков. При этом на поверхности наблюдаются мезоскопические кластеры Ge малой высоты. Качественное объяснение данного эффекта дается в рамках кинетической модели формирования островков в гетероэпитаксиальных системах, рассогласованных по параметру решетки.
  1. О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, А.В. Двуреченский, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, А.И. Якимов, Б. Фойхтлендер. ФТП, 34 (11), 1281 (2000)
  2. А.А. Тонких, Г.Э. Цырлин, В.Г. Дубровский, В.М. Устинов, P. Werner. ФТП, 38 (10), 1239 (2004)
  3. I. Berbezier, A. Ronda, A. Portavoce, N. Motta. Appl. Phys. Lett., 83, 4833 (2003)
  4. A.V. Osipov, F. Schmitt, S.A. Kukushkin, P. Hess. Appl. Surf. Sci., 188, 156 (2002)
  5. V.G. Dubrovskii, G.E. Cirlin, V.M. Ustinov. Phys. Rev. B, 68, 075409 (2003)
  6. В.Г. Дубровский, Ю.Г. Мусихин, Г.Э. Цырлин, В.А. Егоров, Н.К. Поляков, Ю.Б. Самсоненко, А.А. Тонких, Н.В. Крыжановская, Н.А. Берт, В.М. Устинов. ФТП, 38 (3), 342 (2004)
  7. V.G. Dubrovskii, G.E. Cirlin, Yu.G. Musikhin, Yu.B. Samsonenko, A.A. Tonkikh, N.K. Polyakov, V.A. Egorov, A.F. Tsatsul'nikov, N.A. Krizhanovskaya, V.M. Ustinov, P. Werner. J. Cryst. Growth, 267 (1-2), 47 (2004)
  8. D. Kashchiev. Nucleation: Basic Theory with Applications (Butterworth Heinemann, Oxford, 2000)
  9. P. Muller, R. Kern. Appl. Surf. Sci., 102, 6 (1996)
  10. F.M. Kuni. Preprint No 84-178. E (Kiev, ITP, 1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.