Полевые p-канальные транзисторы на основе GaN/AlN/GaN-гетероструктуры на кремниевой подложке
Журавлев М.Н.1, Егоркин В.И.1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
Email: maxim@org.miet.ru
Поступила в редакцию: 23 августа 2023 г.
В окончательной редакции: 4 декабря 2023 г.
Принята к печати: 11 декабря 2023 г.
Выставление онлайн: 12 января 2024 г.
Рассмотрены различные конструкции полевых p-канальных транзисторов на основе GaN/AlN/GaN-гетероструктуры. Канал создается поляризационно-индуцированным двумерным дырочным газом. Показано, что наибольшие значения тока насыщения и крутизны наблюдаются в транзисторе с затвором, формируемым двумерным электронным газом со стороны подложки. Ключевые слова: AlN/GaN-гетероструктура, двумерный дырочный газ, p-канальный транзистор, поляризация.
- H. Amano, Y. Baines, E. Beam, M. Borga, T. Bouchet, P.R. Chalker, M. Charles, K.J. Chen, N. Chowdhury, R. Chu. J. Phys. D: Appl. Phys., 51, 163001 (2018)
- A. Lidow, M. de Rooij, J. Strydom, D. Reusch, J. Glaser. GaN Transistors for Efficient Power Conversion (John Wiley \& Sons Ltd., 2019)
- M.L. Schuette, A. Ketterson, B. Song, E. Beam, T.-M. Chou, M. Pilla, H.-Q. Tserng, X. Gao, S. Guo, P.J. Fay, H.G. Xing, P. Saunier. IEEE Electron Dev. Lett., 34 (6), 741 (2013)
- R. Chaudhuri, S.J. Bader, Z. Chen, D.A. Muller, H.G. Xing, D. Jena. Science, 365, 1454 (2019)
- F. Bernardini, V. Fiorentini, D. Vanderbilt. Phys. Rev. B, 63 (19), 1 (2001)
- I. Vurgaftman, J.R. Meyer. J. Appl. Phys., 94 (6), 3675 (2003)
- O. Ambacher, B. Foutz, J. Smart, J.R. Shealy, N.G. Weimann, K. Chu, M. Murphy, A.J. Sierakowski, W.J. Schaff, L.F. Eastman. J. Appl. Phys., 87 (1), 334 (2000)
- M. Kazan, E. Moussaed, R. Nader, P. Masri. Phys. Status Solidi, 4 (1), 204 (2007)
- K. Adachi, H. Ogi, A. Nagakubo, N. Nakamura, M. Hirao, M. Imade, M. Yoshimura, Y. Mori. J. Appl. Phys., 119 (24), 245111 (2016)
- N. Nakamura, H. Ogi, M. Hirao. J. Appl. Phys., 111 (1), 013509 (2012)
- A.V. Sotnikov, H. Schmidt, M. Weihnacht, E.P. Smirnova, T.Y. Chemekova, Y.N. Makarov. IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control., 57 (4), 808 (2010)
- M.A. Reshchikov, M. Vorobiov, O. Andrieiev, K. Ding, N.Izyumskaya, V. Avrutin, A. Usikov, H. Helava, Y. Makarov. Sci. Rep., 10, 2223 (2020)
- D.D. Koleske, A.E. Wickenden, R.L. Henry, M.E. Twigg. J. Cryst. Growth, 242 (1--2), 55 (2002)
- Y. Zhang, Z. Chen, W. Li, H. Lee, M.R. Karim, A.R. Arehart, S.A. Ringel, S. Rajan, H. Zhao. J. Appl. Phys., 127 (21), 215707 (2020)
- Z. Chen, Y. Zhang, H. Zhao. Opt. Express, 28 (18), 26651 (2020)
- R. Chaudhuri, Z. Chen, D.A. Muller, H.G. Xing, D. Jena. J. Appl. Phys., 130 (2), 025703 (2021)
- N. Remesh, N. Mohan, S. Raghavan, R. Muralidharan, D.N. Nath. IEEE Trans. Electron Dev., 67 (6), 2311 (2020)
- A.Y. Polyakov, I.H. Lee. Mater. Sci. Eng. Reports, 94, 1 (2015)
- К.С. Журавлев, Т.В. Малин, В.Г. Мансуров, О.Е. Терещенко, К.К. Абгарян, Д.Л. Ревизников, В.Е. Земляков, В.И. Егоркин, Я.М. Парнес, В.Г. Тихомиров, И.П. Просвирин. ФТП, 51 (3), 395 (2017)
- R. Beanland, D.J. Dunstan, P.J. Goodhew. Adv. Phys., 45 (2), 87 (1996)
- I.P. Smorchkova, L. Chen, T. Mates, L. Shen, S. Heikman, B. Moran, S. Keller, S.P. DenBaars, J.S. Speck, U.K. Mishra. J. Appl. Phys., 90 (10), 5196 (2001)
- Yu Cao, D. Jena. Appl. Phys. Lett., 90 (18), 182112 (2007)
- F. Medjdoub, M. Zegaoui, D. Ducatteau, N. Rolland, P.A. Rolland. IEEE Electron Dev. Lett., 32 (7), 874 2011
- T. Zimmermann, D. Deen, Y. Cao, J. Simon, P. Fay, D. Jena, H.G. Xing. IEEE Electron Dev. Lett., 29 (7), 661 (2008)
- U. Kaufmann, P. Schlotter, H. Obloh, K. Kohler, M. Maier. Phys. Rev. B, 62 (16), 10867 (2000)
- T. Narita, H. Yoshida, K. Tomita, K. Kataoka, H. Sakurai, M. Horita, M. Bockowski, N. Ikarashi, J. Suda, T. Kachi, Y. Tokuda. J. Appl. Phys., 128 (9), 090901 (2020)
- I.P. Smorchkova, E. Haus, B. Heying, P. Kozodoy, P. Fini, J.P. Ibbetson, S. Keller, S.P. DenBaars, J.S. Speck, U.K. Mishra. Appl. Phys. Lett., 76 (6), 718 (2000)
- G. Greco, F. Iucolano, F. Roccaforte. Appl. Surf. Sci., 383, 324 (2016)
- K. Kumakura, T. Makimoto, N. Kobayashi. Jpn. J. Appl. Phys., 42 (4), 2254 (2003)
- R.H. Horng, D.S. Wuu, Y.C. Lien, W.H. Lan. Appl. Phys. Lett., 79 (18), 2925 (2001)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.