Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Пространственно-селективная эпитаксия квантовых точек InP/GaInP₂ из металлоорганических соединений

Власов А.С. ¹, Афанасьев К.М.¹, Галимов А.И.¹, Калюжный Н.А.¹, Лебедев Д.В.¹, Малевская А.В.¹, Минтаиров С.А.¹, Рахлин М.В.¹, Салий Р.А.¹, Можаров А.М.², Мухин И.С.², Минтаиров А.М.^1,3

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

²Санкт-Петербургский национально-исследовательский академический университет им. Ж.И. Алферова РАН, Санкт-Петербург, Россия Alferov University, Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

Alferov University, Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

³Университет Нотр Дам, Нотр Дам, Индиана, США 46556 Notre Dame University, Notre Dame, IN, US

Email: vlasov@scell.ioffe.ru

Поступила в редакцию: 11 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 21 июля 2023 г.

Принята к печати: 30 октября 2023 г.

Выставление онлайн: 30 декабря 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Проведены эксперименты по выращиванию cамоорганизованных квантовых точек InP/GaInP₂ в апертурах диэлектрических масок размером 0.1-1 мкм методом газофазной эпитаксии с использованием металлоорганических соединений и гидридов. Предложена и реализована последовательность операций для реализации метода взрывной литографии. Показана возможность получения апертур диаметром менее 100 нм. Показано, что использование термически напыленного SiO₂ и жидкостного химического травления обеспечивает отсутствие деградации сигнала фотолюминесценции квантовых точек в апертуре за время их исследования. Ключевые слова: InP-квантовые токи, пространственно-контролируемый рост, МОС-гидридная эпитаксия.

B. Wang, Yu. Zeng, Yu. Song, Y. Wang, L. Liang, L. Qin, J. Zhang, P. Jia, Y. Lei, Ch. Qiu, Y. Ning, L. Wang. Crystals, 12 (7), 1011 (2022)
J. Wong-Leung, I. Yang, Z. Li, S.K. Karuturi, L. Fu, H.H. Tan, Ch. Jagadish. Adv. Mater., 32, e1904359 (2020)
X. Yuan, D. Pan, Y. Zhou, X. Zhang, K. Peng, B. Zhao, M. Deng, J. He, H.H. Tan, Ch. Jagadish. Appl. Phys. Rev., 8, 021302 (2021)
L. Guniat, Ph. Caroff, A.F. Morral. Chem. Rev., 119, 8958 (2019)
A.M. Mintairov, D.V. Lebedev, A.S. Vlasov, A.O. Orlov, G.L. Snider, S.A. Blundell. Sci. Rep., 11, 21440 (2021)
A.S. Vlasov, A.V. Ankudinov, N.A. Kalyuzhnyy, D.V. Lebedev, S.A. Mintairov, R.A. Salii, I.S. Mukhin, A.M. Mozharov, A.M. Mintairov. AIP Conf. Proc., 2300, 020130 (2020)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель