Влияние gamma-облучения на характеристики границы раздела кремний--свинцово-боросиликатное стекло
Парчинский П.Б.1, Власов С.И.1, Насиров А.А.1
1Национальный университет Узбекистана (НУУз), Ташкент, Узбекистан
Поступила в редакцию: 16 февраля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.
Исследовано влияние gamma-облучения на величину плотности поверхностных состояний на границе раздела кремний-свинцово-боросиликатное стекло. Установлено, что при дозах облучения, больших чем 106 рад, наблюдается возникновение локального максимума поверхностных состояний при энергии E=Ec-(0.32±0.04) эВ. Показано, что граница раздела Si-свинцово-боросиликатное стекло характеризуется меньшей чувствительностью к воздействию gamma-облучения по сравнению с границей раздела Si-SiO2, полученной термическим окислением поверхности кремния.
- M. Shimbo, K. Furukava, K. Nanzava, K. Fukada. J. Electrochem. Soc., 134, 156 (1987)
- И.Г. Пичугин, Ю.М. Таиров. Технология полупроводниковых приборов (М., Высш. шк., 1984)
- В.С. Першенков, В.Д. Попов, А.В. Шальнов. Поверхностные радиационные эффекты в ИМС (М., Энергоатомиздат, 1988)
- В.С. Вавилов, Б.М. Горин, Н.С. Данилин, А.Е. Кив, Ю.А. Нуров, В.И. Шаховцев. Радиационные методы в твердотельной электронике (М., Радио и связь, 1990)
- П.Б. Парчинский. Письма ЖТФ, 28 (22), 17 (2002)
- П.Б. Парчинский, С.И. Власов, С.З. Зайнабидинов, А.А. Насиров, В.А. Абдуазимов, Б.А. Бабаджанов. Узб. физ. журн., 4, 200 (2002)
- С.И. Власов, П.Б. Парчинский, Б.А. Олматов. Неорг. матер., 36, 608 (2000)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
- K.H. Zaineger, F.P. Heiman. Sol. St. Technol., 13, 49 (1970)
- П.Б. Парчинский, С.И. Власов, А.А. Насиров, Т.П. Адилов. Письма ЖТФ, 22 (2), 46 (1996)
- J.R. Brews. Sol. St. Electron., 20, 607 (1977)
- S.K. Lai. Appl. Phys. Lett., 39, 58 (1981)
- T.P. Ma, G. Scogan, R. Leone. Appl. Phys. Lett., 27, 61 (1975)
- T.P. Ma. Appl. Phys. Lett., 27, 615 (1975)
- С.Н. Козлов, А.Н. Невзоров, Т.Г. Чайковская. Микроэлектроника, 15, 283 (1986)
- Г.Н. Галкин, Р.У. Абасова, Е.А. Боброва, В.С. Вавилов. ФТП, 16, 2158 (1982)
- С.З. Зайнабидинов, С.И. Власов, Е.Г. Заугольникова, И.Н. Каримов, Г.А. Халиков. ФТП, 19, 1191 (1985)
- В.Я. Киблик, Р.О. Литвинов, В.Г. Литовченко, Н.М. Литовченко. Укр. физ., журн., 22, 1097 (1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.