"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние давления и водорода на образование вакансий и дивакансий в кристаллическом кремнии
Заводинский В.Г.1, Гниденко А.А.1, Мисюк А.2, Бак-Мисюк Я.3
1Институт материаловедения Дальневосточного отделения Российской академии наук, Хабаровск, Россия
2Институт электронной технологии, 02-668 Варшава, Польша
3Институт физики Польской академии наук, 02-668 Варшава, Польша
Поступила в редакцию: 30 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2004 г.

Методами теории функционала электронной плотности и псевдопотенциала исследовано влияние водорода и давления на формирование вакансий и дивакансий в кремнии. Показано, что в присутствии водорода энергия формирования вакансий может снижаться на величину от 1.8 до 3.5 эВ, а энергия формирования дивакансий на величину от 2 до 5.4 эВ, и становится возможным спонтанное возникновение вакансий и их комплексов при высоких концентрациях водорода. Вместе с тем наличие водорода делает кремний менее чувствительным к давлению и при больших концентрациях может полностью подавить тенденцию дополнительного образования вакансий под действием давления.
  1. C.G. Van de Walle, P.J.H. Denteneer, Y. Bar-Yam, S.T. Pantelides. Phys. Rev. B, 39, 10 791 (1989)
  2. J.W. Corbett, S.N. Sahu, T.S. Shi, L.C. Snyder. Phys. Lett. A, 93, 303 (1983)
  3. A. Mainwood, A.M. Stoneham. Physica B + C, 116, 101 (1983); J. Phys. C, 17, 2513 (1984)
  4. C.G. Van de Walle, Y. Bar-Yam, S.T. Pantelides. Phys. Rev. Lett., 60, 2761 (1988)
  5. S.K. Estreicher, J.L. Hastings, P.A. Fedders. Phys. Rev. B, 57, R12663 (1998)
  6. M.A. Roberson, S.K. Estreicher. Phys. Rev. B, 49, 17 040 (1994)
  7. C.G. Van de Walle. Phys. Rev. B, 49, 4579 (1994)
  8. A. Misiuk, H.B. Surma, I.V. Antonova, V.P. Popov, J. Bak-Misiuk, M. Lopez, A. Romano-Rodriguez, A. Barcz, J. Jun. Sol. St. Phenomena, 69--70, 345 (1999)
  9. A. Antonelli, J. Bernholc. Phys. Rev. B, 40, 10 643 (1989)
  10. P. Hohenberg, W. Kohn. Phys. Rev., 136, 864 (1964)
  11. D.M. Ceperley, B.J. Alder. Phys. Rev. Lett., 45, 567 (1980)
  12. J.P. Perdew, A. Zunger. Phys. Rev. B, 23, 5048 (1981)
  13. N. Troullier, J.L. Martins. Phys. Rev. B, 43, 1993 (1991)
  14. M. Bockstedte, A. Kley, J. Neugebauer, M. Scheffler. Comp. Phys. Commun., 107, 187 (1997)
  15. T.J. Lenosky, J.D. Kress, I. Kwon, A.F. Voter, B. Edwards. Phys. Rev. B, 55, 1528 (1997)
  16. M. Tang, L. Colombo, J. Zhu, T.D. de la Rubia. Phys. Rev. B, 55, 14 279 (1997)
  17. N. Bernstein, M.J. Mehl, D. Papaconstantopoulos, N.I. Papanicolaou, M.Z. Bazant, E. Kaxiras. Phys. Rev. B, 62, 4477 (2000)
  18. K.G. Nakamura, K. Ishioka, M. Kitajima, K. Murakami. Sol. St. Commun., 101, 735 (1997)
  19. H. Takaba, A. Endou, A. Yamada, M. Kubo, K. Teraishi, K.G. Nakamura, K. Ishioka, M. Kitajima, A. Miyanoto. Jap. J. Appl. Phys., 39, 2744 (2000)
  20. S. Ov gut, H. Kim, J. Chelikowsky. Phys. Rev. B, 56, R11353 (1997)
  21. O. Sugino, A. Oshiyama. Phys. Rev. Lett., 68, 1858 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.